[实用新型]带有折射镜的差分式位移传感器

权利要求书

1.一种带有折射镜的差分式位移传感器，其特征在于，包括：

三角波反射镜，包括若干个反射面；

激光束，入射至三角波反射镜的反射面；

分光镜组，包括分光镜和反光镜，且分光镜和反光镜呈一定夹角设置，且使得三角波反射镜的反射面反射的激光束入射至分光镜，一部分激光束先后经分光镜和反光镜反射后入射至折射镜一并发生折射，另一部分激光束经分光镜透射后入射至折射镜二并发生折射；

光电探测器一，用于接收经折射镜一折射的激光束，并测量其入射位置；

光电探测器二，用于接收经折射镜二折射的激光束，并测量其入射位置；

处理系统，用于根据光电探测器一与光电探测器二接收到的激光束的入射位置变化量计算出被测物体的位移变化值。

2.根据权利要求1所述的带有折射镜的差分式位移传感器，其特征在于，光电探测器一与光电探测器二和分光镜组之间的设置位置满足关系：激光束经分光镜组后分别入射至光电探测器一与光电探测器二的入射角相同。

3.根据权利要求2所述的带有折射镜的差分式位移传感器，其特征在于，分光镜和反光镜呈90度夹角设置，且光电探测器一与光电探测器二平行设置。

4.根据权利要求1所述的带有折射镜的差分式位移传感器，其特征在于，所述折射镜一与光电探测器一贴合，所述折射镜二与光电探测器二贴合。

5.根据权利要求1所述的带有折射镜的差分式位移传感器，其特征在于，所述激光束为P偏振光。

6.根据权利要求1所述的带有折射镜的差分式位移传感器，其特征在于，所述折射镜一的入射面与出射面均为平面，且入射面与出射面相互平行；所述折射镜二的入射面与出射面均为平面，且入射面与出射面相互平行。

7.根据权利要求1-6任一所述的带有折射镜的差分式位移传感器，其特征在于，还包括壳体，激光束由激光源发射得到，激光源、分光镜组、折射镜一、折射镜二、光电探测器一、光电探测器二均固定设置于壳体内，组成读数头。

8.根据权利要求7所述的带有折射镜的差分式位移传感器，其特征在于，所述读数头为至少两个，且所述至少两个读数头之间的位置关系满足：在测量过程中，至少有一个读数头可以读取到激光束在光电探测器一与光电探测器二上的入射位置变化量。