[实用新型]一种碳材料镀膜设备

权利要求书

1.一种碳材料镀膜设备，包括镀膜箱、贯通连接在镀膜箱上端的连接管和贯通连接在连接管另一端的真空箱，其特征在于：所述镀膜箱包括箱体，所述箱体的内顶壁上连接有磁控靶，所述磁控靶通过连接管与真空箱贯通连接，所述磁控靶的下端贯通连接有对准头，所述箱体的内侧壁上连接有挡板，且挡板的中心开设有圆形通孔，所述圆形通孔位于对准头的正下方，所述箱体的内底壁上连接有固定装置；

所述固定装置包括连接块，所述连接块通过多个支撑脚连接在箱体的内底壁上，所述连接块的上端连接有固定块，所述连接块的上端开设有条形凹槽，且条形凹槽内转动连接有螺杆，所述螺杆的一端穿过条形凹槽的侧壁延伸出连接块外并连接有旋钮，所述螺杆位于条形凹槽内的一段上螺纹套接有滑动块，所述滑动块滑动连接在连接块的上端，所述滑动块和固定块的侧壁上均转动连接有转动杆，两个转动杆相对的一侧均连接有顶板，位于右侧的所述转动杆的另一端连接有长杆，所述长杆穿过箱体的侧壁并连接有摇把。

2.如权利要求1所述的一种碳材料镀膜设备，其特征在于：所述箱体的前侧壁上开设有矩形通孔，且矩形通孔的侧壁上铰接有透明密封门。

3.如权利要求1所述的一种碳材料镀膜设备，其特征在于：所述旋钮和摇把上均设有防滑纹。

4.如权利要求1所述的一种碳材料镀膜设备，其特征在于：两个所述顶板相对的一侧均连接有抗热橡胶垫。

5.如权利要求1所述的一种碳材料镀膜设备，其特征在于：所述对准头、圆形通孔和连接块处于同一条水平线上。

6.如权利要求1所述的一种碳材料镀膜设备，其特征在于：所述螺杆与连接块的底壁平行设置。