[实用新型]基于微机电压电超声波换能器阵列的连续超声波测距装置有效
| 申请号： | 201821811885.3 | 申请日： | 2018-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN209387875U | 公开（公告）日： | 2019-09-13 |
| 发明（设计）人： | 谢金;陈旭颖;杨邓飞;刘鑫鑫 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01S15/36 | 分类号： | G01S15/36 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 傅朝栋;张法高 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 超声波换能器阵列 微机电压 超声波发射模块 超声波接收模块 发射和接收模块 本实用新型 换能器单元 连续超声波 测距装置 横向声波 电极 底电极 隔绝板 基底层 夹具 连接线 串扰信号 信号传输 有效减少 逐层叠加 接线端 同一端 压电层 隔开 基底 芯片 传播 | ||
1.一种基于微机电压电超声波换能器阵列的连续超声波测距装置，其特征在于，包括夹具，所述夹具上安装有相互独立的超声波发射模块(11)和超声波接收模块(12)，且超声波发射模块(11)和超声波接收模块(12)之间设有一块阻断横向声波信号传输的隔绝板(13)；所述的超声波发射模块(11)和超声波接收模块(12)均采用微机电压电超声波换能器阵列模块；所述微机电压电超声波换能器阵列模块底部为基底层(05)，基底层(05)上设有换能器单元，换能器单元由底电极(03)、压电层(02)和上电极(01)逐层叠加而成，底电极(03)和上电极(01)分别通过连接线(04)与不同的接线端相连。
2.如权利要求1所述的基于微机电压电超声波换能器阵列的连续超声波测距装置，其特征在于，所述的微机电压电超声波换能器阵列模块中，换能器单元有多个，且在基底层(05)上呈矩形阵列排布，各换能器单元以并联的方式连接于接线端上。
3.如权利要求2所述的基于微机电压电超声波换能器阵列的连续超声波测距装置，其特征在于，所述的矩形阵列为5×5矩形阵列。
4.如权利要求3所述的基于微机电压电超声波换能器阵列的连续超声波测距装置，其特征在于，上电极(01)和底电极(03)的材料为钼；压电层(02)的材料为氮化铝、氧化锌或锆钛酸铅压电陶瓷；连接线(04)的材料为铝；基底层(05)的材料为硅。
5.如权利要求3所述的基于微机电压电超声波换能器阵列的连续超声波测距装置，其特征在于，所述的微机电压电超声波换能器阵列模块的谐振频率为492kHz。
6.如权利要求1所述的基于微机电压电超声波换能器阵列的连续超声波测距装置，其特征在于，所述的隔绝板(13)为塑料隔板。
7.如权利要求1所述的基于微机电压电超声波换能器阵列的连续超声波测距装置，其特征在于，所述的超声波发射模块(11)通过接线端连接外部信号激励源。
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