[实用新型]一种表面全场微观三维形貌自动检测仪有效
| 申请号： | 201821817817.8 | 申请日： | 2018-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN209147920U | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 裴永臣;夏峥嵘;赵儒仕;张航 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | G01B7/06 | 分类号： | G01B7/06;G01B7/28;G01B7/34;G01B11/06;G01B11/24;G01B11/30 |
| 代理公司： | 苏州创策知识产权代理有限公司 32322 | 代理人： | 董学文 |
| 地址： | 130012 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 激光位移传感器 电感传感器 步进电机 三维形貌 自动检测仪 高度数据 被测点 被测件 接触式 检测 测量 微观 传感器连接件 非接触式测量 表面粗糙度 表面特征 导轨系统 路径规划 路径检测 位置坐标 平面度 纠偏 导轨 滑台 底座 垂直 输出 规划 | ||
1.一种表面全场微观三维形貌自动检测仪，可实现接触式和非接触式测量的切换；主要由底板(1)、X/Y向步进电机导轨系统、电感传感器测头(17)、激光位移传感器(28)、CCD摄像头(14)、步进电机滑台系统、调节件等组成，其特征在于：接触式测量系统的测量模块，由可带动被测零件(12)在XY面内运动的X/Y向步进电机导轨系统和可测量被测零件(12)表面某一点高度的电感传感器测头(17)组成；非接触式测量系统的测量模块，由可带动被测零件(12)在XY面内运动的X/Y向步进电机导轨系统和可测量被测零件(12)表面某一点高度的激光位移传感器(28)组成。
2.根据权利要求1所述的一种表面全场微观三维形貌自动检测仪，其特征在于：在接触式和非接触的测量系统中，都装有用于检测前的路径规划与检测过程中路径纠偏的CCD摄像头(14)。
3.根据权利要求1所述的一种表面全场微观三维形貌自动检测仪，其特征在于：所述的X/Y向步进电机导轨系统包含能控制导轨沿X向移动的X向导轨步进电机(3)和使导轨沿Y向移动的Y向导轨步进电机(7)。
4.根据权利要求1所述的一种表面全场微观三维形貌自动检测仪，其特征在于：接触式的测量装置中，接触式调节件(20)上开有四条“键槽”型的通孔。
5.根据权利要求1所述的一种表面全场微观三维形貌自动检测仪，其特征在于：非接触式的测量装置中，传感器连接件(30)和CCD连接件(39)上加工出了可以调节角度的“圆弧”型通孔，水平移动滑块(33)用于调整传感器连接件(30)的水平位置，非接触式调节件(34)和平面移动滑块(36)相连接的部位采用“井”字形组合，CCD连接件(39)上和CCD摄像头(14)相连接的部位加工出了“腰形”孔，便于彼此之间位置的调节。
6.根据权利要求1所述的一种表面全场微观三维形貌自动检测仪，其特征在于：所述被测件通过高强度的粘胶固定于能够减少对CCD摄像头(14)产生干扰的黑色亚克力板(11)上。
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