[实用新型]颗粒物检测装置以及带有该颗粒物检测装置的电子设备有效

专利信息
申请号: 201821819640.5 申请日: 2018-11-06
公开(公告)号: CN209690126U 公开(公告)日: 2019-11-26
发明(设计)人: 罗柱华 申请(专利权)人: 深圳益杉创新科技有限公司
主分类号: G01N15/06 分类号: G01N15/06
代理公司: 11541 北京卓唐知识产权代理有限公司 代理人: 唐海力;李志刚<国际申请>=<国际公布>
地址: 518104 广东省深圳市宝安区沙井街道*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 晶圆 罩体部 颗粒物检测装置 感光部 透镜部 集成电路元件 空气颗粒物 光源部 申请 微小型电子设备 实时测量数据 电子设备 光束作用 同一直线 颗粒物 限位槽 传感器 散射 手机 手表 测量 侧面 转化
【权利要求书】:

1.一种颗粒物检测装置,其特征在于,包括:晶圆底部、光源部、透镜部以及罩体部,所述光源部与所述透镜部通过所述罩体部中的限位槽固定在同一直线上,所述晶圆底部的至少两个侧面上设置有罩体部,通过所述罩体部与晶圆底部相连,

所述晶圆底部还包括:设置在其上的感光部和集成电路元件部,所述感光部,用于接收经由所述透镜部光束作用于颗粒物引起散射的光束并转化为电信号;所述集成电路元件部与所述感光部相连并安装在所述晶圆底部,用于处理接收到的电信号。

2.根据权利要求1所述的颗粒物检测装置,其特征在于,所述罩体部上的进风口具有开口通道结构。

3.根据权利要求1所述的颗粒物检测装置,其特征在于,所述罩体部上的出风口具有开口通道结构。

4.根据权利要求1所述的颗粒物检测装置,其特征在于,在所述感光部至少包括一有效接收面。

5.根据权利要求1所述的颗粒物检测装置,其特征在于,在所述晶圆底部还包括:与外部载体连接的电性连接件。

6.根据权利要求1所述的颗粒物检测装置,其特征在于,所述罩体部还包括:用于隔离所述光源部激光光束的隔离部。

7.根据权利要求1所述的颗粒物检测装置,其特征在于,所述罩体部还包括:用于处理经由所述透镜部的激光光束的处理部。

8.根据权利要求1所述的颗粒物检测装置,其特征在于,所述晶圆底部的四个侧面上分别设置有罩体部,在所述晶圆底部的上方还设置有罩体部。

9.根据权利要求1所述的颗粒物检测装置,其特征在于,所述罩体部与所述晶圆底部为一体成型结构。

10.一种电子设备,其特征在于,包括:如权利要求1至9任一项所述的颗粒物检测装置。

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