[实用新型]采用超大尺寸软膜模板进行大面积压印的纳米压印装置

权利要求书

1.采用超大尺寸软膜模板进行大面积压印的纳米压印装置，其特征在于：包括底座；

工作台、导向柱，垂直设置在底座上，工作台与导向柱之间预留有间距；

衬底，放置于工作台上，衬底上表面旋涂有压印胶层；

模具夹持单元，设于导向柱上并且可沿导向柱上下移动；

软膜夹具，设于模具夹持单元上，软膜夹具可沿模具夹持单元水平横向移动；

软膜模板，设于压印胶层上方，软膜模板与压印胶层相接触的面上设有微纳米压印图案，软膜模板一端与软膜夹具固定，软膜模板的另一端与工作台固定；

压印装置，设于软膜模板上方，所述压印装置上设有压辊，压印装置可在软膜模板上方横向或纵向移动，压印装置上设有压力传感器，软膜夹具在模具夹持单元上横向移动，实时调整压印过程中软膜模板的松紧度，压印装置驱动压辊下压直至使软膜模板与衬底上的压印胶层贴合压紧；然后驱动压辊在软膜模板上匀速滚动、同时通过协调控制模具夹持单元的升降及软膜夹具的横向移动、实现超大尺寸软膜模板与衬底的线性均匀压印，压印完成后，压印装置驱动压辊上升，使其远离软膜模板；

UV固化装置，设于软膜模板上方并且可在软膜模板上方横向及纵向移动，当压印装置驱动压辊远离软膜模板后，UV固化装置下移至软膜模板上方，对压印胶进行固化。

2.根据权利要求1所述的采用超大尺寸软膜模板进行大面积压印的纳米压印装置，其特征在于：所述工作台上表面嵌有真空吸盘，所述真空吸盘上方与衬底底面相吸，在工作台远离导向柱一端设有支撑块，所述衬底和压印胶层相加的厚度与支撑块的厚度相同，所述支撑块上设有用于定位软膜模板的定位销。

3.根据权利要求1所述的采用超大尺寸软膜模板进行大面积压印的纳米压印装置，其特征在于：所述模具夹持单元包括与导向柱滑动连接的模具支撑架，与模具支撑架连接的驱动模具支撑架沿导向柱滑动的驱动装置，所述模具支撑架上设有容置腔，在容置腔内设有单向阻尼轨道，软膜夹具设于容置腔内并与单向阻尼轨道相接触。

4.根据权利要求3所述的采用超大尺寸软膜模板进行大面积压印的纳米压印装置，其特征在于：所述驱动装置采用与模具支撑架连接的电动缸或采用与模具支撑架连接的丝杠并通过电机驱动的方式。

5.根据权利要求3所述的采用超大尺寸软膜模板进行大面积压印的纳米压印装置，其特征在于：所述单向阻尼轨道为具有周期性的凹凸结构，所述单向阻尼轨道材质为具有较小形变量的高分子聚合物。

6.根据权利要求1所述的采用超大尺寸软膜模板进行大面积压印的纳米压印装置，其特征在于：所述软膜夹具上设有用于夹持软膜模板的夹持口。

7.根据权利要求1所述的采用超大尺寸软膜模板进行大面积压印的纳米压印装置，其特征在于：所述压印装置包括与压辊转动连接的纵向伸缩支架以及与纵向伸缩支架顶部连接的横向伸缩支架，所述压辊的外表面设有弹性层。

8.根据权利要求1所述的采用超大尺寸软膜模板进行大面积压印的纳米压印装置，其特征在于：所述UV固化装置为UV固化灯，与UV固化灯连接有纵向伸缩架以及与纵向伸缩架顶部连接的横向伸缩架。

9.根据权利要求3所述的采用超大尺寸软膜模板进行大面积压印的纳米压印装置，其特征在于：所述容置腔内设有可驱动软膜夹具横向移动的电动缸。