[实用新型]高稳定的微调平台

权利要求书

1.一种高稳定的微调平台，其特征在于，包括基座、设置在所述基座四角的微调模块以及用于驱动所述微调模块运动的驱动组件；

其中所述微调模块包括：

第一滑块，滑动连接在所述基座上；

第二滑块，滑动连接在所述第一滑块的顶面上，所述第二滑块的滑动方向与所述第一滑块的滑动方向垂直；

套筒件，固定设置在所述第二滑块的顶面上；

转台件，通过两个轴承转动连接在所述套筒件内，转动轴线的延伸方向为竖向方向，所述转动轴线的延伸方向、所述第一滑块的滑动方向以及所述第二滑块的滑动方向互相垂直，所述转台的一端从所述套筒件顶部延出至外部以与需要微调的部件连接。

2.根据权利要求1所述的高稳定的微调平台，其特征在于，在所述套筒件的两端设置有第一挡板和第二挡板，所述第一挡板位于所述套筒件远离所述第二滑块的一端，所述第二挡板位于所述套筒件和所述第二滑块之间，所述第一挡板与所述套筒件固定连接，所述第二挡板与所述转台件固定连接，在所述转台件上套设有轴套件，一个所述轴承限位在所述第一挡板和所述轴套件之间，另一个所述轴承限位在所述第二挡板和所述轴套件之间。

3.根据权利要求1所述的高稳定的微调平台，其特征在于，在所述套筒件的内壁上设置有用于设置所述轴承的定位槽，在所述转台件上远离所述第二滑块的一端设置有用于限制所述轴承的位置的轴肩。

4.根据权利要求1所述的高稳定的微调平台，其特征在于，所述高稳定的微调平台包括分别与对应的一个所述微调模块的第一滑块传动连接第一驱动组件、第二驱动组件以及第三驱动组件，所述第二驱动组件的驱动方向为X方向，所述第一驱动组件和所述第三驱动组件的驱动方向为Y方向，所述X方向和所述Y方向互相垂直。

5.根据权利要求4所述的高稳定的微调平台，其特征在于，在所述基座上固定设置有三个磁栅尺组件，三个磁栅尺组件分别用于一一对应的测量所述第一驱动组件、所述第二驱动组件以及所述第三驱动组件连接的第一滑块的位移。

6.根据权利要求5所述的高稳定的微调平台，其特征在于，所述磁栅尺组件包括支架座、尺体、磁头、滑动连接块、顶杆以及弹簧，在所述支架座的两端均设置有挡块；

所述尺体固定设置在所述支架座上，所述滑动连接块滑动设置在所述支架座上，所述顶杆和所述磁头均与所述滑动连接块固定连接，所述磁头与所述尺体接触，所述顶杆的延伸方向、所述滑动连接块的滑动方向均与所述第一滑块的滑动方向一致，所述顶杆的一端与所述第一滑块接触，所述顶杆的另一端套接所述弹簧，所述顶杆贯穿滑动连接在一端的挡块上，所述弹簧限位在所述滑动连接块和另一端的所述挡块之间。

7.根据权利要求6所述的高稳定的微调平台，其特征在于，所述顶杆的一端设置有用于与所述第一滑块接触的倒圆面。

8.根据权利要求1所述的高稳定的微调平台，其特征在于，所述驱动组件包括丝杠、螺母件以及电机，所述螺母件于所述第一滑块固定连接，所述丝杠与所述螺母件传动连接，所述丝杠与所述电机传动连接。

9.根据权利要求1所述的高稳定的微调平台，其特征在于，在所述基座上固定设置有第一导轨，在所述第一滑块上设置有与所述第一导轨相对应的第一滑槽，在所述第一滑块上的顶面上设置有第二滑槽，在所述第二滑块上设置有与所述第二滑槽相对应的第二导轨。

10.根据权利要求1所述的高稳定的微调平台，其特征在于，所述轴承为角接触球轴承。