[实用新型]用于高温炉的防变形钨钼金属隔热屏结构

说明书

提供一种用于高温炉的防变形钨钼金属隔热屏结构，包括炉胆，炉胆内侧设有钨钼金属隔热屏，钨钼金属隔热屏由多个相互平行的钨钼金属隔热片连接而成，钨钼金属隔热片之间采用活连接结构连接，高温下隔热屏能自由膨胀，不受约束，能够充分释放高温热膨胀所产生的应力，实现对高温炉热场的变形量的控制，热场的均温性得到保证，炉子的性能参数确保满足工艺要求，大大的高热场的使用寿命；钨钼金属隔热屏内侧设有加热器，加热器上设有穿过钨钼金属隔热屏上的隔绝孔与外部加热电极连接的引出电极连接爪，引出电极连接爪上挂有电极遮挡片，电极遮挡片能够将通过隔绝孔漏出的热量反射回炉内，减少炉内热损耗，保证炉内均温性。

技术领域

本实用新型属高温炉技术领域，具体涉及一种用于高温炉的防变形钨钼金属隔热屏结构。

背景技术

钨钼金属隔热屏被广泛的应用于高温炉炉衬，用于烧结、晶体生长、退火、钎焊等工艺操作，特别是在半导体领域、高温陶瓷烧结领域得到大范围的应用。耐火砖作为高温炉炉衬只能用于大气状态下工作，利用耐火砖自身的隔热性能进行保温，所以不能快速的升降温，每炉次周期较长，而且只能用于低温炉。现在高温炉领域大多是在真空或者氢气还原性气氛下工作，只能用钨钼金属隔热屏或者石墨隔热屏来作为炉衬。但石墨相对于钨钼材料来说饱和蒸气压高，所以高温下挥发大，对炉膛的污染很严重，需要对石墨隔热屏进行表面特殊处理，比如喷镀一层钨粉，或是涂氧化氮、氧化铌等，工艺复杂。钨钼材料具有足够低的饱和蒸气压，高温下挥发少，很少污染炉膛和工件，并且钨钼材料黑度小，表面光洁度高，能充分的将热量反射回炉内，热惯性很小，但透热性很大，所以不仅能快速升温或冷却，而且还能提高上限炉温并允许在高真空状态下工作。但是传统钨钼隔热屏采用铆接结构，高温下变形量很大，导致整体炉胆变形，热损耗很大，且不利于炉子的均温性要求，使热场内因为变形带来的温差较大，使工件的一致性较差。因此有必要提出改进。

实用新型内容

本实用新型解决的技术问题：提供一种用于高温炉的防变形钨钼金属隔热屏结构，本实用新型钨钼金属隔热屏中的钨钼金属隔热片之间采用活连接结构连接，高温下隔热屏能自由膨胀，不受约束，能够充分释放高温热膨胀所产生的应力，实现对高温炉热场的变形量的控制，热场的均温性得到保证，炉子的性能参数确保满足工艺要求，大大的高热场的使用寿命；在引出电极连接爪上挂有电极遮挡片，电极遮挡片能够将通过隔绝孔漏出的热量反射回炉内，减少炉内热损耗，保证炉内均温性。

本实用新型采用的技术方案：用于高温炉的防变形钨钼金属隔热屏结构，包括炉胆，所述炉胆内侧设有钨钼金属隔热屏，所述钨钼金属隔热屏由多个相互平行的钨钼金属隔热片连接而成，所述钨钼金属隔热片之间采用活连接结构连接而保证高温下隔热屏能自由膨胀；所述钨钼金属隔热屏内侧设有加热器，所述加热器上设有穿过钨钼金属隔热屏上的隔绝孔与外部加热电极连接的引出电极连接爪，所述引出电极连接爪上挂有能够将通过隔绝孔漏出的热量反射回炉内的电极遮挡片。

对上述技术方案的进一步限定，所述炉胆采用带水冷的紫铜板制成，所述紫铜板上焊接有紫铜盘管；对于卧式高温炉，所述钨钼金属隔热屏和加热器均为平面状结构，所以炉胆就采用六组平面状带水冷的紫铜板；对立式高温炉，只将上下位置的所述炉胆采用带水冷的紫铜板。

对上述技术方案的进一步限定，所述活连接结构包括设于相邻钨钼金属隔热片之间的丝簧，每组所述钨钼金属隔热屏中的多个钨钼金属隔热片之间通过穿销杆连接在一起，所述钨钼金属隔热片上用于穿过穿销杆的孔为便于钨钼金属隔热屏充分释放高温热膨胀产生的应力的条形孔；对于炉内垂直方向的所述钨钼金属隔热屏通过上部的钨杆悬挂在对应外部炉胆上；对于炉内水平方向的所述钨钼金属隔热屏通过定位销杆固定在对应外部的炉胆上，所述钨钼金属隔热屏上供定位销杆穿过的孔与定位销杆之间留有一定防止屏高温下翘曲变形的膨胀间隙；同时竖直方向所述钼金属隔热屏与水平方向所述钼金属隔热屏对应端部为台阶状结构。