[实用新型]一种用于陶瓷盘清洗机的机械手系统

说明书

本实用新型涉及半导体晶圆抛光领域，具体涉及到一种用于陶瓷盘清洗机的机械手系统。包括机架与导轨；导轨有两条且水平安装在机架侧部；机械手爪安装板两端通过滑块与两导轨相连，机械手爪安装板至少有四块且通过一长螺杆串接；机械手爪安装板上设有齿轮齿条传动机构，齿条安装在机架上，齿轮安装在机械手爪安装板下端侧部并与齿条啮合；齿轮与水平驱动减速机相连，直线模组沿竖向设于机械手爪安装板上；直线模组与直线模组驱动电机相连；直线模组滑动件上设有机械手爪安装座；机械手爪设于机械手爪安装座上。本实用新型巧妙地实现了和夹持式机械手同样的功能动作，且减少了一组动力装置；相比于夹持式机械手，故障率与成本更低。

技术领域

本实用新型涉及半导体晶圆抛光领域，具体涉及到一种用于陶瓷盘清洗机的机械手系统。

背景技术

在半导体晶圆加工的过程中有一道抛光的工序，晶圆经过抛光之后会大幅度提升其表面光洁度和表面质量。其中有一种抛光的工艺就是利用粘接剂将晶圆粘贴在陶瓷载盘上来实现的；为了实现陶瓷载盘的循环利用，必须想方法清洗掉陶瓷载盘上的粘接剂。为了使陶瓷载盘的清洗实现自动化，有必要提供一种自动化的陶瓷盘清洗机使陶瓷盘的清洗问题得以解决。

目前的陶瓷盘清洗机对于陶瓷盘的搬运方式一般有两种，一是人工搬运，费时费力效率低且存在危险性；二是使用夹持式机械手,缺点是夹持过程故障率高。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是，克服现有技术中的不足，提供一种用于陶瓷盘清洗机的机械手系统。

为解决技术问题，本实用新型的解决方案是：

提供一种用于陶瓷盘清洗机的机械手系统，包括机架、导轨、机械手组件与直线模组组件；

导轨为直线导轨，有两条互相平行且水平安装在机架侧部；

机械手组件包括机械手爪安装板与机械手爪；机械手爪安装板两端通过滑块与两导轨相连，机械手爪安装板至少有四块且通过一长螺杆串接；机械手爪安装板上设有齿轮齿条传动机构，齿轮安装在机械手爪安装板下端侧部，齿条安装在机架上，并与齿轮啮合；齿轮与水平驱动减速机相连，水平驱动减速机连接水平驱动电机；

直线模组组件包括直线模组与直线模组驱动电机；直线模组沿竖向设于机械手爪安装板上；直线模组与直线模组驱动电机相连；最后端的直线模组与直线模组驱动电机间还设有竖直驱动减速机；直线模组滑动件上设有机械手爪安装座；机械手爪设于机械手爪安装座上。

作为一种改进，机械手爪端部安装有陶瓷盘托块。

作为一种改进，水平驱动减速机为行星减速机。

作为一种改进，最前端的械手爪安装板还通过气缸连接一机械手爪安装板，该机械手爪安装板通过滑块设于导轨上；且该机械手爪安装板上设有直线模块组件与机械手爪，且装配方式与其余的机械手爪安装板相同，用于满足多工位的要求。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：

本实用新型巧妙地实现了和夹持式机械手同样的功能动作，且减少了一组动力装置。相比于夹持式机械手，故障率更低、成本更低。

附图说明

图1是本实用新型的主视图。

图2是本实用新型的左视图。

附图标记：1-第一机械手爪安装板；2-机械手爪；3-直线模组驱动电机；4-机械手爪安装座；5-气缸；6-直线模组；7-第二机械手爪安装板；8-长螺杆；9-第三机械手爪安装板；10-行星减速机；11-齿轮；12-水平驱动电机；13-第四机械手爪安装板；14-齿条； 15-竖直驱动减速机；16-第五机械手爪安装板；17-导轨；18-陶瓷盘托块。

具体实施方式