[实用新型]一种PVD机台搭接式防护罩

说明书

本实用新型公开了一种PVD机台搭接式防护罩，包括内托盘、第二主镀膜托盘、第三主镀膜托盘和第四主镀膜托盘，所述内托盘的顶部安装有四个外托盘，且内托盘顶部靠近外托盘的一侧安装有四个卡板，四个所述卡板的顶部均通过螺栓固定连接有第一主镀膜托盘，所述第一主镀膜托盘的一侧安装有第二镀膜托盘和第三镀膜托盘，所述第三镀膜托盘位于第二镀膜托盘的一侧，所述第二主镀膜托盘的一侧安装有第七镀膜托盘和第八镀膜托盘，所述第八镀膜托盘位于第七镀膜托盘的一侧，所述第三主镀膜托盘的一侧安装有第五镀膜托盘和第十镀膜托盘，本实用新型设置了内托盘、外托盘和卡板，解决了装置容易发生变形，缩短使用寿命的问题。

技术领域

本实用新型属于PVD技术领域，具体涉及一种PVD机台搭接式防护罩。

背景技术

PVD指利用物理过程实现物质转移，将原子或分子由源转移到基材表面上的过程，它的作用是可以使某些有特殊性能(强度高、耐磨性、散热性、耐腐性等)的微粒喷涂在性能较低的母体上，使得母体具有更好的性能。

但是目前市场上的PVD机台搭接式防护罩没有设置防止装置变形的设备，装置容易发生变形，缩短使用寿命，没有设置防止装置松动的装置，传统的装置随着使用时间的增加，装置的连接处会逐渐发生松动，容易发生安全事故。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种PVD机台搭接式防护罩，以解决上述背景技术中提出的装置容易发生变形，缩短使用寿命和装置的连接处会逐渐发生松动，容易发生安全事故的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种PVD机台搭接式防护罩，包括内托盘、第二主镀膜托盘、第三主镀膜托盘和第四主镀膜托盘，所述内托盘的顶部安装有四个外托盘，且内托盘顶部靠近外托盘的一侧安装有四个卡板，四个所述卡板的顶部均通过螺栓固定连接有第一主镀膜托盘，所述第一主镀膜托盘的一侧安装有第二镀膜托盘和第三镀膜托盘，所述第三镀膜托盘位于第二镀膜托盘的一侧，所述第二主镀膜托盘的一侧安装有第七镀膜托盘和第八镀膜托盘，所述第八镀膜托盘位于第七镀膜托盘的一侧，所述第三主镀膜托盘的一侧安装有第五镀膜托盘和第十镀膜托盘，所述第十镀膜托盘位于第五镀膜托盘的一侧，所述第四主镀膜托盘的一侧安装有第四镀膜托盘和第九镀膜托盘，所述第九镀膜托盘位于第四镀膜托盘的一侧，所述外托盘与主镀膜托盘之间贯穿有内六角螺杆，所述内六角螺杆的两侧分别安装有第一定位销和第二定位销，所述第三镀膜托盘和外托盘之间贯穿有连接螺杆，所述第十镀膜托盘和第三镀膜托盘之间安装有第一连接托盘，所述第二镀膜托盘和第四镀膜托盘之间安装有第二连接托盘，所述第八镀膜托盘和第九镀膜托盘之间安装有第三连接托盘，所述第五镀膜托盘和第七镀膜托盘之间安装有第四连接托盘。

优选的，所述连接螺杆上套设有绝缘套。

优选的，所述第三镀膜托盘的顶部开设有与内六角螺杆对应的孔。

优选的，所述内托盘为正方形结构。

优选的，所述第一连接托盘、第二连接托盘、第三连接托盘和第四连接托盘均为L型结构。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

(1)本实用新型设置了内托盘、外托盘和卡板，将内托盘通过螺栓与物体进行固定，内托盘固定完毕后，外托盘与内托盘形成的阶梯凹槽对卡板进行阻挡，卡板对第一主镀膜托盘、第二主镀膜托盘、第三主镀膜托盘和第四主镀膜托盘进行固定，从而防止第一主镀膜托盘变形，解决了装置容易发生变形，缩短使用寿命的问题，从而防止装置变形，延长装置的使用寿命。