[实用新型]一种喷淋式蚀刻设备新型加热设备

说明书

本实用新型提供一种喷淋式蚀刻设备新型加热设备。所述喷淋式蚀刻设备新型加热设备包括酸性供给机构，所述酸性供给机构与所述缓冲罐相互连通；缓冲罐，所述缓冲罐的中心处开有孔槽结构，且所述缓冲罐的外壁分布有冷却管和加热管；所述冷却管、所述加热管之间相互独立设置；所述缓冲罐的内壁安装有电热管；冷却机组，所述冷却机组连通有冷水排水管和冷水回水管，且所述冷水排水管、所述冷水回水管均与所述冷却管相互连通；加热水箱，所述加热水箱连通有热水排水管和热水回水管；加热储液罐。本实用新型提供的喷淋式蚀刻设备新型加热设备，能够对酸性液体进行液体，保证蚀刻效果。

技术领域

本实用新型涉及蚀刻设备技术领域，尤其涉及一种喷淋式蚀刻设备新型加热设备。

背景技术

蚀刻就是用化学方法按一定的深度除去不需要的金属；蚀刻技术被广泛用在装饰、电路板、精密加工和电子零件加工等领域，近几年我国用蚀刻方法加工的金属画、工艺品和缕空艺术品赚取了大量的外汇，形成了一个新型产业。

现有顶喷蚀刻设备，药液补充方式基本为常温状态下直接加入到加热槽内，通过循环方式进行温度交换，交换过程持续加热到设定温度；市场上现有的进口喷淋设备和国产喷淋设备，药液补充后加热方式都类似，在循环交换过程中进行加热，此类设备加热结构比较单一，在循环交换过程中温度交换不彻底，会形成局部温度不均，导致蚀刻率不稳定，对于整体顶喷蚀刻制程工艺而言，无法满足玻璃基板双面同时减薄制程要求，从而使设备制程容易出现比较高的喷淋痕蚀刻不均和厚度不均。

因此，有必要提供一种新的喷淋式蚀刻设备新型加热设备解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型解决的技术问题是提供一种可进行预加热、使用寿命长的喷淋式蚀刻设备新型加热设备。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的喷淋式蚀刻设备新型加热设备包括：酸性供给机构；缓冲罐，所述缓冲罐与所述酸性供给机构相互连通；所述缓冲罐的中心处开有孔槽结构，且所述缓冲罐的外壁分布有冷却管和加热管；所述冷却管、所述加热管之间相互独立设置；所述缓冲罐的内壁安装有电热管；冷却机组，所述冷却机组连通有冷水排水管和冷水回水管，且所述冷水排水管、所述冷水回水管均与所述冷却管相互连通；加热水箱，所述加热水箱连通有热水排水管和热水回水管，且所述热水排水管、所述热水回水管均与所述加热管相互连通；加热储液罐，所述加热储液罐与所述缓冲罐相互连通。

优选的，所述酸性供给机构包括第一酸性储存罐和第二酸性储存罐，所述第一酸性储存罐单向连通至所述缓冲罐，所述第二酸性储存罐单向连通至所述加热储液罐。

优选的，所述加热储液罐双向连通加工工位，且所述加热储液罐与所述缓冲罐单向连通。

优选的，所述缓冲罐与所述冷却机组双向连接为循环流通结构，且所述缓冲罐与所述加热水箱双向连接为循环流通结构。

优选的，所述电热管为盘管结构，且所述电热管的分布高度与所述缓冲罐的孔槽深度相同。

优选的，所述冷却管、所述加热管的内部均为栅格结构，且所述冷却管与所述加热管的形状尺寸均相同；所述冷却管、所述加热管分别位于所述缓冲罐的单独侧面处。

与相关技术相比较，本实用新型提供的喷淋式蚀刻设备新型加热设备具有如下有益效果：

本实用新型提供一种喷淋式蚀刻设备新型加热设备，通过在所述加热储液罐的前端设有所述缓冲罐来对酸性液体进行预加热，能够强化顶喷式补充药液时温度均衡功能，降低蚀刻制程出现的厚度不均和喷淋痕蚀刻不均，提升制程良率；实现了相同温度补充药液，降低循环时间，缩短制程时间，减少前制程待料时间；采用所述电热管、所述加热水箱两种方式进行加热，能够保证某一种加热设备损坏时能够快速切换到另一种加热方式，保证整个制备线的正常运转。

附图说明