[实用新型]一种电力电子器件芯片研发用晶圆倒角辅助装置

说明书

本实用新型涉及晶圆加工设备附属装置的技术领域，特别是涉及一种电力电子器件芯片研发用晶圆倒角辅助装置，其可以通过简化晶圆片倒角流程使晶圆片倒角效率提高；并且可以提高晶圆片两侧倒角的平整度；包括操作台、电动机和晶圆片；还包括两组支撑架、左支撑环、右支撑环、左螺纹杆、右螺纹杆、连接环、两组限位杆、两组滑块、限位板、左调节环、右调节环、左带动杆、右带动杆、左连接杆、右连接杆和两组吸盘爪，限位板的左部区域内部和右部区域的内部分别设置有两组滑动槽；还包括两组稳固架、放置板、调节杆、六棱杆、伸缩环、固定杆、挂杆、横杆、调节器、限位块、控制杆、控制环、伸缩螺纹杆、安装板和砂布，调节器的内部设置有滑动腔。

技术领域

本实用新型涉及晶圆加工设备附属装置的技术领域，特别是涉及一种电力电子器件芯片研发用晶圆倒角辅助装置。

背景技术

众所周知，晶圆是由单晶硅棒经过切片得来的，当晶圆从单晶硅棒上切割下来之后不可以直接送至下一道工序，因为这时晶圆的边缘存在很多毛刺，因而我们需要对晶圆边缘的毛刺加工之后才可以将晶圆送至下一道工序，其中上述去除晶圆边缘毛刺的过程称之为倒角，这里电力电子器件芯片研发用晶圆倒角辅助装置是一种当晶圆从单晶硅棒上切割下来之后，用于对晶圆的边缘进行倒角的装置，其在晶圆加工的领域中得到了广泛的使用；现有的电力电子器件芯片研发用晶圆倒角辅助装置包括操作台、电动机、砂轮、固定架和晶圆片，所述固定架的底端与操作台的顶端中部区域连接，所述晶圆片与固定架固定卡装，所述砂轮的中部区域与电动机的输出端固定卡装，所述操作台的底端设置有四组支腿；现有的电力电子器件芯片研发用晶圆倒角辅助装置使用时，首先在市场上购买到电动机和砂轮，然后按照电动机和砂轮的使用说明书将砂轮安装在电动机的输出端，然后将需要加工的晶圆片固定在操作台上的固定架上，然后操作人员按照电动机购买时所带的使用说明书启动电动机，然后操作人员通过电动机控制砂轮对晶圆片边缘打磨来去除晶圆片边缘的毛刺；现有的电力电子器件芯片研发用晶圆倒角辅助装置使用中发现，首先当固定架固定住晶圆片的时候，这时操作人员通过电动机带动砂轮只能对晶圆片的一侧边缘进行倒角，然后需要通过将晶圆片翻转之后并且重新固定才可以加工另一面，而且需要反复拆装晶圆片来对比晶圆片两侧倒角尺寸，因而晶圆片倒角的效率较低，同时现有的固定架对晶圆片的尺寸要求较高，从而导致使用局限性较高；并且操作人员通过电动机带动砂轮对晶圆片倒角，使晶圆片两侧倒角的平整度较差，同时造成了晶圆片两侧边缘倒角尺寸的一致性较差，从而导致实用性较差。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种可以通过简化晶圆片倒角流程使晶圆片倒角效率提高，同时增强设备对不同尺寸晶圆片的夹放能力，从而降低使用局限性；并且可以提高晶圆片两侧倒角的平整度，同时增强晶圆片两侧边缘倒角尺寸的一致性，从而增强实用性的电力电子器件芯片研发用晶圆倒角辅助装置。