[实用新型]一种用于缺陷检测的系统

权利要求书

1.一种用于缺陷检测系统，用于检测至少部分透明的物体的缺陷，其特征在于，该系统包括：透射暗场照明器，用于照射至少部分透明的物体;透射式明场照明器，用于照亮电路;探测器;用于检测穿过至少部分透明的物体的光，以提供代表电路图像的检测信号;所述探测器包括至少一个成像装置和检测单元，该成像装置用于对所述至少部分透明的物体在透射暗场照明和/或透射式明场照明模式下进行成像扫描，所述检测单元用于检测穿过至少部分透明的物体的光以提供检测信号;控制器，连接所述探测器，且用于接收所述成像装置的图像数据以及所述检测单元获取的检测信号以检测缺陷。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述成像装置包括用于收集光信号并将光信号转换为电信号的成像组件，所述成像组件包括线阵成像组件，所述线阵成像组件包括CCD线阵成像组件、CMOS线阵成像组件中的一种。

3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述成像装置的数量为多个，多个所述成像装置分别设置于所述至少部分透明的物体的上方和/或下方。

4.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，所述至少部分透明的物体的透明部分包括平板透明材料或者表面粗糙、凹凸不平的异形透明材料，以及包括位于透明层上方和/或下方的不透明图案。

5.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所述控制器还用于确定至少一个透射明场照明器特性和至少一个透射暗场照明器特性，使得至少部分透明的物体的图像包括指示多个缺陷类型的像素，而代表至少一个要被忽略的现象的信息，同时能够滤除代表至少一个要忽略的现象的信息;其中，由透射明视场照明器照射至少部分透明的物体并且其中至少部分透明的物体位于其中，获得至少部分透明的物体的图像;以及检测穿过至少部分透明的物体的光，以提供代表电路图像的检测信号，并处理检测到的信号以检测缺陷。

6.根据权利要求5所述的系统，其特征在于，所述控制器用于确定所述透射暗场照明器的所述至少一个特性与所述透射式明场照明器的所述至少一个特性之间的关系，使得所述至少部分透明的物体图像包括代表至少部分透明的物体小缺陷的像素和代表至少部分透明的物体的大缺陷的像素，其中代表至少部分透明的物体的大缺陷的像素代表从气泡，划痕，灰尘和污染中选择的至少一种现象、并具有可在缺陷检测期间过滤掉的值。

7.根据权利要求6所述的系统，其特征在于，所述至少部分透明的物体的部分包括透明层和不透明图案，其限定大针孔和小针孔，当用透射光照射至少部分透明的物体时，进入大针孔的部分光线穿过大针孔以被所述成像组件探测，进入小针孔的透射明场光线在大角度范围内散射。

8.根据权利要求7所述的系统，其特征在于，所述控制器还用于确定以下中的一个或多个之间的关系：透射暗场和透射明场照明器的强度；透射亮场照明器和透射暗场照明器的光轴; 透射式明场照明器的辐射方向图和透射暗场照明器的辐射方向图，所述辐射方向图包括光束横截面的形状，光束宽度。

9.根据权利要求8所述的系统，其特征在于，所述电路包括玻璃或聚合物层的掩模，在玻璃或聚合物层上形成不透明图案。

10.根据权利要求9所述的系统，其特征在于，所述成像组件还包括一个或多个透镜，其将至少部分透明的物体的某个平面成像到检测器上。