[实用新型]一种水洗式废气处理设备

说明书

本实用新型涉及一种水洗式废气处理设备，包括热氧化处理单元、热催化反应单元，废气依次经热氧化处理单元、热催化反应单元处理后排放，热氧化处理单元包括进气管道、热氧化器、蓄水槽A、逆流式水洗塔，热催化反应单元包括热催化反应室、蓄水槽B、排气管道，废气经进气管道进入热氧化器进行热氧化反应，经热氧化反应的废气经下方的蓄水槽A进入逆流式水洗塔进行水洗去除水溶性气体，经水洗的废气进入热催化反应室进行热催化反应，经热催化反应的废气经下方的蓄水槽B进入排气管道排出水洗式废气处理设备。本实用新型采用热氧化与热催化相结合的废气处理方案改善废气处理效果，具有处理气体种类多以及处理效果好的特点。

技术领域

本实用新型涉及一种水洗式废气处理设备，特别涉及一种改进处理效果的水洗式废气处理设备，属于水洗式废气处理领域。

背景技术

加热水洗式废气处理设备主要应用在半导体、太阳能光伏等行业中，用于处理上述行业中从各种工艺主设备中排出的未完全消耗的特殊气体，通常这些气体常温常压下的化学性质非常稳定，需要加热才能有效分解，加热器是加热水洗式废气处理设备中的关键部件，而且也是设备中需要经常维修保养的主要部件。目前加热水洗式废气处理设备中大多数只有一个加热器工作反应，没有催化燃烧反应，因此只能达到氧化易燃气体的作用，处理气体种类偏少，且处理效果不能满足不断提高的要求。

实用新型内容

本实用新型水洗式废气处理设备公开了新的方案，采用热氧化与热催化相结合的废气处理方案改善处理效果，解决了现有方案采用单一的热氧化处理带来的处理气体种类偏少以及处理效果不能满足要求的问题。

本实用新型水洗式废气处理设备包括热氧化处理单元、热催化反应单元，废气依次经热氧化处理单元、热催化反应单元处理后排放，热氧化处理单元包括进气管道、热氧化器、蓄水槽A、逆流式水洗塔，热催化反应单元包括热催化反应室、蓄水槽B、排气管道，废气经进气管道进入热氧化器进行热氧化反应，经热氧化反应的废气经下方的蓄水槽A进入逆流式水洗塔进行水洗去除水溶性气体，经水洗的废气进入热催化反应室进行热催化反应，经热催化反应的废气经下方的蓄水槽B进入排气管道排出水洗式废气处理设备。

进一步，本方案的热氧化处理单元还包括涡流洗气器A，涡流洗气器A内设有水雾喷头，经热氧化反应的废气进入涡流洗气器A去除颗粒杂质后进入下方的蓄水槽A，热催化反应单元还包括涡流洗气器B，涡流洗气器B内设有水雾喷头，经热催化反应的废气进入涡流洗气器B去除颗粒杂质后进入下方的蓄水槽B。

更进一步，本方案的热催化反应单元还包括逆流式填充水洗塔，逆流式填充水洗塔内填设有滤气物质，经涡流洗气器B去除颗粒杂质的废气经下方的蓄水槽B进入逆流式填充水洗塔进一步去除水溶性酸性气体后进入排气管道排出水洗式废气处理设备。

进一步，本方案的热氧化处理单元的进气管道上设有旁通阀，旁通阀用于调节进气管道内的进气压力。

进一步，本方案的热催化反应单元的排气管道上设有蝶阀、真空增压泵，真空增压泵用于抽吸排放排气管道内的气体。

进一步，本方案的热催化反应单元的排气管道上设有排气取样检测管道，排气取样检测管道上设有电磁阀，取样排气经排气取样检测管道进入外部取样检测设备。

本实用新型水洗式废气处理设备采用热氧化与热催化相结合的废气处理方案改善废气处理效果，具有处理气体种类多以及处理效果好的特点。

附图说明

图1是水洗式废气处理设备的示意图。

其中，110是进气管道，111是旁通阀，120是热氧化器，130是涡流洗气器A，140是蓄水槽A，150是逆流式水洗塔，210是热催化反应室，220是涡流洗气器B，230是蓄水槽B，240是逆流式填充水洗塔，250是排气管道，251是排气取样检测管道。

具体实施方式