[实用新型]厂务系统洁净室运维节能系统

说明书

本实用新型公开了一种厂务系统洁净室运维节能系统，包括数据采集传感器、物联网传感器、决策器逻辑电路、至少一个现场控制器、远端计算机；每一个现场控制器对应一组数据采集传感器，每组数据采集传感器包括第一～第五传感器，第一～第五传感器一方面与决策逻辑电路相连、另一方面与现场控制器相连；物联网传感器与决策器逻辑电路相连，决策逻辑电路与现场控制器相连，现场控制器与远端计算机相连；现场控制器控制洁净室的风量调节阀。本实用新型是数据采集和精确控制的优化装置，在保障洁净系统新风覆盖和洁净度指标要求下节能降耗，适用于优化厂务系统的洁净室运维系统。

技术领域

本实用新型属于厂务洁净技术领域,用于优化厂务系统的洁净室运维系统，具体地说是一种厂务系统洁净室运维节能系统。

背景技术

在很多厂务系统（尤其是半导体厂务系统）中，洁净室发挥着控制室内环境的重要作用。由于具备多项功能，洁净室运行时会消耗大量的能源，而其中大部分的能耗都是由室内的空调通风系统运行产生的。所以，研究洁净室空调通风系统的节能优化是一项关键的问题。

洁净室的特性是湿、度设定点低，而且温、湿度需要控制在精准规格内，再加上外气补充量与循环气量非常庞大，使得洁净室耗能巨大。另外，洁净室对于热负荷并无法准确估计，且需长期稳定运行，因此设计了宽裕的安全系数。从节能而言，并非最佳，需在运维时根据洁净室的耗能分布，制定节能策略，并调节。

根据对半导体厂耗能调查的统计，厂务系统的耗能占了整厂耗能的56.6%，而空调系统约占了全部耗能的40%，是最大的部分。空调系统中又以冰水主机的耗能占了全厂的27.2%，这显示外气除湿与洁净室循环气流的冷却是最耗能的部分。核心生产部分光刻用电的比例较高。

现有技术中，洁净室节能，首先需要采集温湿度等数据，根据气流循环与热平衡计算热负荷，再制定节能方案，一般有几种节能措施：（1）降低外气空调箱的送风温度；（2）降低废气排放量；（3）降低洁净室正压的设定值；（4）使用热管设计的外气空调箱、（5）办公室空调节能；（6）办公室与停车场照明节能。在各项节约能源的方案中，以空调方面的措施效果最显著。其中又以外气空调箱的降低送风温度与排气合理化调整及减量是最有价值的做法。在外气空调箱的设计上，如能应用热管(冷媒或水为介质)可节省冰水与热水的需求，如此可大幅降低运转成本及冰机的容量。现有技术方案中，主要通过外气空调箱的降低送风温度与排气合理化调整来实现节能降耗。但是降低送风温度，减少排气量可能会导致不能满足洁净室运行的温度和正压的情况，而且同时采用两种方法是因目标不同，而产生冲突，如何协调两种方法是目前存在的主要问题。另外，外部环境的不同，季节、时间的差异，进行节能优化的策略、方式与参数都有区别。

随着物联网和智能远程运维信息技术的发展，人们对厂务系统洁净室的运维节能系统的节能降耗效果有了更高的要求。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种厂务系统洁净室运维节能系统，其基于实时数据采集和精确控制的优化装置，在保障洁净系统新风覆盖和洁净度指标要求下节能降耗。本实用新型为实现上述目的，所采用的技术方案如下：

一种厂务系统洁净室运维节能系统，包括数据采集传感器、物联网传感器、决策器逻辑电路、至少一个现场控制器、远端计算机；

所述每一个现场控制器对应一组数据采集传感器，每组数据采集传感器包括用于采集新风系统补充外气量的第一传感器、用于采集新风系统循环气量的第二传感器和第三传感器、用于采集新风系统排气量的第四传感器用于采集洁净室的洁净度数据的第五传感器，第一～第五传感器一方面与决策逻辑电路相连、另一方面与现场控制器相连；

所述物联网传感器的输出端与决策器逻辑电路输入端相连，决策逻辑电路与现场控制器相连，现场控制器与远端计算机相连，远端计算机包括策略库存储器，远端计算机内设置有能耗分析平台和能耗管理信息系统；