[实用新型]一种双列直插类管壳通用旋转清洗夹具有效
申请号: | 201821868547.3 | 申请日: | 2018-11-14 |
公开(公告)号: | CN208781821U | 公开(公告)日: | 2019-04-23 |
发明(设计)人: | 李金龙;江凯;李茂松;张文烽 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第二十四研究所 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/687 |
代理公司: | 重庆辉腾律师事务所 50215 | 代理人: | 王海军 |
地址: | 400060 *** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 台阶底座 定位夹具 夹具 定位凹槽 双列直插 突起 管壳 圆柱定位销 定位通孔 旋转清洗 清洗孔 取放 半导体制造 底座台阶 宽度设计 陶瓷管壳 翻转 通用 宽型 封装 匹配 稳固 穿过 整齐 | ||
1.一种双列直插类管壳通用旋转清洗夹具,其特征在于,包括基座(1)、台阶底座(3)和凹槽定位夹具(4),其中基座(1)上设置有多个圆柱定位销(2),所述台阶底座(3)、凹槽定位夹具(4)上设置有多个圆形定位通孔(5),圆柱定位销(2)依次穿过台阶底座(3)、凹槽定位夹具(4)上的圆形定位通孔(5),将台阶底座(3)、凹槽定位夹具(4)固定在基座(1)上;
所述台阶底座(3)上设置有多个突起(8),所有突起(8)构成一个整齐的阵列;
所述凹槽定位夹具(4)上设置有多个清洗孔(6)和定位凹槽(7),每个清洗孔(6)与定位凹槽(7)和在台阶底座(3)上的突起(8)相匹配的。
2.根据权利要求1所述的一种双列直插类管壳通用旋转清洗夹具,其特征在于,所述基座(1)的为中空的。
3.根据权利要求1所述的一种双列直插类管壳通用旋转清洗夹具,其特征在于,基座(1)、圆柱定位销(2)和台阶底座(3)均采用SUS304不锈钢制作。
4.根据权利要求1所述的一种双列直插类管壳通用旋转清洗夹具,其特征在于,所述定位凹槽(7)的尺寸比双列直插类管壳宽0.2mm、比双列直插类管壳长1mm,定位凹槽(7)的深度比台阶底座与管壳陶瓷体厚度之和深0.2mm。
5.根据权利要求1所述的一种双列直插类管壳通用旋转清洗夹具,其特征在于,清洗孔(6)比定位凹槽(7)短1mm,清洗孔(6)比定位凹槽(7)窄1mm。
6.根据权利要求1所述的一种双列直插类管壳通用旋转清洗夹具,其特征在于,圆形定位通孔(5)的直径为4.00~4.50mm。
7.根据权利要求1所述的一种双列直插类管壳通用旋转清洗夹具,其特征在于,台阶底座(3)上突起(8)的宽度比双列直插类管壳窄0.2mm、长度比双列直插类管壳短0.2mm,台阶底座(3)上突起(8)的高度比管壳底面至引线边缘高度高0.2mm。
8.根据权利要求1-6所述的任意一种双列直插类管壳通用旋转清洗夹具,其特征在于,台阶底座(3)上设置的每个突起(8)均边缘去棱角、且突起(8)的上表面抛光处理,每个定位凹槽(7)的四个内角做圆角处理、且定位凹槽(7)内侧面做抛光处理。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造