[实用新型]一种能快速便捷调整的修正板

说明书

本实用新型提供了一种能快速便捷调整的修正板。包括修正片和多个长度不同的修正块；修正块通过螺钉固定在修正片上；修正片是一块矩形板，修正片板面的几何中心分布有定位孔；修正片通过定位孔与设备固定连接；多个调节孔等距分布在修正片板面的的两个长边缘；修正块上带有U形卡槽，U形卡槽与修正片上的调节孔相对应，通过螺钉固定连接；每相邻两修正块的侧面紧贴，使修正块的上表面形成一个平面。本实用新型修正块中采用U形卡槽设计，拧松固定螺钉，修正块即可沿着U形卡槽长度方向，即修正片宽度方形来回移动，方便调节修正块的位置，修正块处于不同的位置时，整个修正板的面积和形状也随之发生改变，可以适用于不同镀膜工艺的均匀性调试。

技术领域

本实用新型涉及镀膜技术领域，具体涉及一种能快速便捷调整的修正板。

背景技术

在真空镀膜中，蒸镀源(靶材)正上方的蒸发物浓度最高，导致镀膜基板上的薄膜厚度从中间到边缘出现不一致的现象。目前厚度均匀的薄膜获得，通常是通过基板旋转架和膜厚修正板来解决。在镀膜基板架与蒸镀源之间设置一修正板，通过修正板来遮挡蒸镀源正上方的蒸发物，以减少蒸镀源正上方基板玻璃膜层的厚度。

目前，镀膜修正板一般是固定的形状大小。当需要其他形状的镀膜修正板时，需重新制作，通用性差。不仅增加了生产成本，而且也影响了生产效率。

综上所述，急需一种能快速便捷调整的修正板以解决现有技术中存在的问题。

实用新型内容

本实用新型目的在于提供一种能快速便捷调整的修正板，以解决镀膜修正板通用性差的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种能快速便捷调整的修正板，包括修正片和多个长度不同的修正块；修正块通过螺钉固定在修正片上；修正片是一块矩形板，修正片板面的几何中心分布有定位孔；修正片通过定位孔与设备固定连接；多个调节孔等距分布在修正片板面的的两个长边缘；修正块是矩形块，修正块上带有U形卡槽，U形卡槽与修正片上的调节孔相对应，通过螺钉固定连接；每相邻两修正块的侧面紧贴，使修正块的上表面形成一个平面。

优选地，所述定位孔有多个，沿修正片两宽边中点连线方向等距分布。

优选地，所述定位孔和调节孔均为螺纹孔。

优选地，所述U形卡槽位于修正块宽度边缘中心，U形卡槽长度方向与修正块长度方向平行，每个修正块的U形卡槽长度一样。

优选地，其特征在于，所述修正块的长度方向与修正片长度方向垂直。

应用本实用新型的技术方案，具有以下有益效果：

(1)本实用新型中，修正块中采用U形卡槽设计，拧松固定螺钉，修正块即可沿着U形卡槽长度方向，即修正片宽度方形来回移动，方便调节修正块的位置，修正块处于不同的位置时，整个修正板的面积和形状也随之发生改变，可以适用于不同镀膜工艺的均匀性调试。

(2)本实用新型中，修正块设计有长度不同的多种尺寸规格，便于替换使用，不同修正块的组合，可以形成不同的面积、形状的修正板，以满足实际使用要求。

(3)本实用新型中，修正块通过螺钉与修正片连接，只需稍微将螺钉拧松，即可调整修正块的位置，调节方便快捷，能快速修正机器上中下的伞差，节约了调试时间，提高了生产效率；修正板结构简单，加工方便，通用性强，节约了生产成本。

除了上面所描述的目的、特征和优点之外，本实用新型还有其它的目的、特征和优点。下面将参照图，对本实用新型作进一步详细的说明。

附图说明

构成本申请的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1是修正板结构示意图；