[实用新型]一种晶棒旋转检测台有效

专利信息
申请号: 201821874734.2 申请日: 2018-11-14
公开(公告)号: CN209132169U 公开(公告)日: 2019-07-19
发明(设计)人: 刘效斐 申请(专利权)人: 内蒙古中环领先半导体材料有限公司
主分类号: G01N21/84 分类号: G01N21/84;G01B21/02
代理公司: 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 代理人: 栾志超
地址: 010070 内蒙古自*** 国省代码: 内蒙古;15
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摘要:
搜索关键词: 滚筒 晶棒 台面 旋转装置 滚动 搬运 检测 旋转检测台 升降装置 检测台 种晶 周转 本实用新型 测量过程 长度检测 检测装置 平行分布 人工成本 水平旋转 外观检测 万向轮 翻转 直立 扭伤 测量
【说明书】:

一种晶棒旋转检测台,包括检测台面,检测台面上设有滚动滚筒和检测装置,滚动滚筒包括第一滚筒和第二滚筒,第一滚筒与第二滚筒平行分布。检测台面底部通过旋转装置连接升降装置,升降装置底部设有万向轮。本实用新型的有益效果是:将晶棒放到检测台面上的两根滚动滚筒之间,方便晶棒滚动测量,减少晶棒在外观检测和长度检测的过程中的搬运周转,检测台面底部设有旋转装置,旋转装置可水平旋转检测台面,在晶棒端面的测量过程中,减少晶棒直立与晶棒翻转的搬运周转,从而减轻工作人员的劳动量,减少了工作人员在晶棒搬运过程中带来的身体扭伤风险,缩短了作业时间,降低了人工成本。

技术领域

本实用新型属于机械结构技术领域,尤其是涉及一种晶棒旋转检测台。

背景技术

晶棒,一般通过直拉单晶的方式生成,形成圆柱形棒体。圆柱形晶棒通过切割,断成所需尺寸,方便检测、运输,晶棒检测合格后,方可投入使用。

目前,晶棒的检测方法以人工检测为主。即:通过检验员将晶棒搬运到电子称上,测量晶棒重量。称重后,将晶棒旋转一周后,检测晶棒外观崩损情况,并测量晶棒长度。然后将晶棒直立后,检测晶棒端面的电参数,再将晶棒翻转180度,检测晶棒另一端面的电参数。

通过上述方法检测晶棒,需对晶棒进行多次周转搬运,费时费力,且在晶棒搬运过程中,容易对晶棒外表面进行磕碰崩损,造成不必要的浪费,多次移动晶棒,容易对晶棒造成不必要的污染,影响晶棒的使用效果。

也可以使用大型检测设备对晶棒的上述技术参数进行检测,大型检测设备结构复杂,占地面积大,生产成本高,应用范围小,不适合推广应用。

实用新型内容

本实用新型要解决的问题是提供一种检测台;尤其是结构简单,可旋转、可升降,避免多次搬运周转且生产成本低,适用于晶棒的一种晶棒旋转检测台。

为解决上述技术问题,本实用新型采用的技术方案是:一种晶棒旋转检测台,包括检测台面,所述检测台面上设有滚动滚筒和检测装置,所述滚动滚筒包括第一滚筒和第二滚筒,所述第一滚筒与所述第二滚筒平行分布,所述检测台面底部通过旋转装置连接升降装置,所述升降装置包括顶架和底架,所述顶架与所述底架均为方形框,所述顶架两条平行边一端部对应设有第一条形槽,所述顶架两条平行边另一端部对应设有第一连接孔,所述底架两条平行边一端部对应设有第二条形槽,所述底架两条平行边另一端部对应设有第二连接孔,所述连接架包括X机构,所述X机构包括两组平行对应分布的X形杆和中部连接杆,所述中部连接杆两端分别连接两组X形杆中部,所述两组X形杆顶部两端分别连接第一条形槽和第一连接孔,所述两组X形杆底部两端分别连接第二条形槽和第二连接孔,所述底架底部设有万向轮。

进一步的,所述滚动滚筒包括滚筒轴和筒体,所述筒体置于所述滚筒轴外表面中心处,所述滚筒轴与所述筒体同轴心,所述滚筒轴两端长于所述筒体。

进一步的,所述检测台面上设有连接板,所述连接板与所述检测台面垂直分布,所述连接板上设有连接孔,所述滚筒轴置于所述连接孔内,所述连接板分别置于所述滚动滚筒两端。

进一步的,所述连接孔内设有轴承,所述滚筒轴置于所述轴承内。

进一步的,所述X机构为多组,所述X机构之间通过两侧连接杆连接,所述两侧连接杆两端分别连接两组所述X形杆的顶部和所述X形杆的底部,所述两侧连接杆与所述中部连接杆平行分布,所述两侧连接杆中部设有螺纹孔,所述螺纹孔与丝杠配合连接,所述丝杠连接驱动机构。

进一步的,所述顶架上设有顶板,所述顶板上表面设有第一凹槽,所述检测台面底部设有第二凹槽,所述旋转装置包括旋转轴,所述凹槽内设有轴承,所述旋转轴置于所述轴承内。

进一步的,所述万向轮包括支架、滚轮、支架座和刹车装置,所述滚轮安装在所述支架上,所述支架安装在所述支架座上,所述支架座上设有刹车装置,所述支架座连接所述底架。

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