[实用新型]一种辅助测试硅片电阻率的模具

说明书

一种辅助测试硅片电阻率的模具，包括模具本体。模具本体为圆柱形片状物，模具本体上设有测试孔，测试孔包括中心点测试孔和边缘点测试孔。中心点测试孔为圆柱孔，中心点测试孔置于模具本体中心部位。边缘点测试孔为长条状，边缘点测试孔包括四条，边缘点测试孔以中心点测试孔为中心放射状分布，四条边缘点测试孔呈“十”字形分布。本实用新型的有益效果是：结构简单、操作方便，在对硅片进行电阻率检测的时候，将本模具置于硅片上表面，硅片通过本模具透出五个孔，可使得硅片检测更加规范，中心点测试孔和四个边缘点测试孔相互配合，符合国际标准的五点测试法，提高了测试点准确性；测试更加便捷，测试效率高，生产成本低。

技术领域

本实用新型属于机械结构技术领域，尤其是涉及一种辅助测试硅片电阻率的模具。

背景技术

随着环保呼声日益高涨、天然气石油等能源日益枯竭，新能源和再生能源成为二十一世纪世界关注的重大课题。光伏发电作为清洁能源，日益受到世界各国的重视及扶持。

光伏发电所需的太阳能电池板的基础材料为单晶硅，一般通过直拉单晶的方式生产晶棒，晶棒经切割后，形成硅片。电阻率是硅片的一个重要参数，其大小直接反映了硅片的导电性能。硅片按晶体结构，可分为单晶硅和多晶硅，不同结构的硅片其电阻率相差极大。其中单晶硅纯硅的电阻率为2.5*105Ω·cm，而每一百万个硅原子中有一个被其他原子替代，则电阻率降低0.2Ω·cm。在生产硅片的过程中，可以通过控制杂质原子的浓度来改变纯硅的导电性。

对于硅片这类半导体电阻率的测试，目前最常用的是直线四探针法。直线四探针法的工作原理将四根探针等距呈直线式排列放置在硅片某一区域上，在两侧的探针上注入电流I，然后用高精度的电压表测量中间两个探针间的电压V，利用欧姆定律可得该区域内平均电阻率。直线四探针法的优点在于原理简单，计算方便，便于应用。

直线四探针法必须用四根探针接触硅片表面，现有的四根探针选择测量点时，一般依靠目测确定测试点，测量区域较大，测试选点随意性大，不规范，难以检查硅片电阻率是否均匀，测试人为误差大。且在硅片测试过程中，硅片大面积暴露在空气中，会使硅片受到污损，导致硅片精度降低。

实用新型内容

本实用新型要解决的问题是提供一种模具；尤其是结构简单，操作方便，生产成本低，适合多种规格的硅片，应用范围广且可提高测试精度的一种辅助测试硅片电阻率的模具。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种辅助测试硅片电阻率的模具，包括模具本体，所述模具本体为圆柱形片状物，所述模具本体上设有测试孔，所述测试孔包括中心点测试孔和边缘点测试孔，所述中心点测试孔为圆柱孔，所述中心点测试孔置于所述模具本体中心部位，所述边缘点测试孔为长条状，所述边缘点测试孔包括四条，所述边缘点测试孔以所述中心点测试孔为中心放射状分布，四条所述边缘点测试孔呈“十”字形分布，所述边缘点测试孔内设有限位装置。

进一步的，所述限位装置包括限位挡片和限位弹簧，所述限位挡片置于所述边缘点测试孔内，所述限位弹簧一端连接所述限位挡片，所述限位弹簧另一端连接所述模具本体边缘处。

进一步的，所述限位挡片背对所述中心点测试孔的一端连接所述限位弹簧，所述限位挡片正对所述中心点测试孔的一端设有防滑装置。

进一步的，所述模具本体上设有刻度线，所述刻度线以所述中心点测试孔为中心呈环状分布，所述刻度线为多条，所述刻度线之间设有间距L。

进一步的，所述间距L的尺寸为1mm。

进一步的，所述刻度线处设有标识物。

进一步的，所述边缘点测试孔距离所述模具本体的边缘处设有间距H。

进一步的，所述间距H的尺寸为1mm。

进一步的，所述边缘点测试孔距离所述中心点测试孔设有间距D。