[实用新型]一种提高单晶炉炉压的结构

权利要求书

1.一种提高单晶炉炉压的结构，其特征在于：所述提高单晶炉炉压的结构设于单晶炉的主管道与真空泵之间，包括第一变径三通、第二变径三通、第一调节阀、第二调节阀、第三调节阀和连接管路，所述第一调节阀的直径与所述主管道的管径相同，所述连接管路的管径小于所述主管道的管径，所述主管道的一端通过所述第一变径三通与所述第一调节阀的第一端连接，所述第一变径三通的小管径端与所述第二调节阀的一端连接，所述第二调节阀的另一端通过所述连接管路与所述第三调节阀的一端连接，所述第一调节阀的第二端通过所述第二变径三通与所述真空泵连接，所述第三调节阀的另一端与所述第二变径三通的小管径端连接。

2.根据权利要求1所述的提高单晶炉炉压的结构，其特征在于：还包括安装架，所述第一变径三通、所述第二变径三通和所述连接管路固定在所述安装架上，所述安装架安装在地基上。

3.根据权利要求2所述的提高单晶炉炉压的结构，其特征在于：所述第一变径三通、所述第二变径三通和所述连接管路通过抱箍与所述安装架固定。

4.根据权利要求1-3任一所述的提高单晶炉炉压的结构，其特征在于：所述第一变径三通通过快速自锁结构与所述主管道和/或所述第一调节阀和/或所述连接管路连接。

5.根据权利要求4所述的提高单晶炉炉压的结构，其特征在于：所述第二变径三通通过所述快速自锁结构与所述第一调节阀和/或所述连接管路连接。

6.根据权利要求5所述的提高单晶炉炉压的结构，其特征在于：所述快速自锁结构包括设于所述第一变径三通/所述第二变径三通的接口上的第一凸缘、设于所述第一凸缘的端部的第二凸缘、密封圈和螺纹套，所述第一凸缘的内径略大于所述主管道/所述第一调节阀的接口/所述连接管路的外径，所述第二凸缘的内径大于所述第一凸缘的内径，所述螺纹套套设于所述主管道/所述第一调节阀的接口/所述连接管路上，所述密封圈设于所述主管道/所述第一调节阀的接口/所述连接管路与所述第二凸缘之间，所述第二凸缘设有外螺纹，所述螺纹套设有内螺纹，所述第二凸缘与所述螺纹套通过螺纹连接。

7.根据权利要求6所述的提高单晶炉炉压的结构，其特征在于：所述快速自锁结构还包括金属卡套，所述金属卡套套设于所述主管道/所述第一调节阀的接口/所述连接管路上，且位于所述密封圈与所述第一凸缘之间，所述金属卡套内圈设有若干个齿片，所述齿片向所述第一凸缘倾斜。

8.根据权利要求1-3任一所述的提高单晶炉炉压的结构，其特征在于：所述第一调节阀和/或所述第二调节阀和/或所述第三调节阀为球阀或蝶阀。

9.根据权利要求8所述的提高单晶炉炉压的结构，其特征在于：所述第二调节阀和所述第三调节阀中一个为球阀另一个为蝶阀。