[实用新型]一种PVD涂层机漏电保护装置

权利要求书

1.一种PVD涂层机漏电保护装置，包括机体（2）和基座（1），所述机体（2）固定连接在基座（1）上，其特征在于，所述机体（2）内固定连接有反应箱（3），所述反应箱（3）侧壁上开设有进气口（306）与排气口（307），所述反应箱（3）侧壁上固定连接有导电棒（301），所述反应箱（3）侧壁上固定连接有蒸发源（302），所述反应箱（3）内设有加热器（2041），所述反应箱（3）底壁上转动连接有转盘（304），所述转盘（304）上固定连接有活塞环（305），所述机体（2）内设有第一铜板（102）、第二铜板（103）和连接铜板（104），所述基座（1）内固定连接有处理器（101），所述处理器（101）与连接铜板（104）电性相连。

2.根据权利要求1所述的一种PVD涂层机漏电保护装置，其特征在于，所述机体（2）内固定连接有第一电源（203），所述第一电源（203）与导电棒（301）电性相连，所述机体（2）内还固定连接有第二电源（204），所述第二电源（204）与通过连接杆（303）与加热器（2041）电性相连，所述机体（2）底部内壁上固定连接有偏置电源（205），所述转盘（304）底壁上固定连接有连接板（3041），所述偏置电源（205）与连接板（3041）电性连接。

3.根据权利要求2所述的一种PVD涂层机漏电保护装置，其特征在于，所述处理器（101）内包含有电性检测单元、信号传输单元、信号处理单元和终端处理器，所述处理器（101）与第一电源（203）、第二电源（204）、偏置电源（205）均电性连接。

4.根据权利要求2所述的一种PVD涂层机漏电保护装置，其特征在于，所述蒸发源（302）与反应箱（3）的连接处固定嵌入有第一铜片（1031），所述加热器（2041）与反应箱（3）的连接处嵌入有第二铜片（1021），所述转盘（304）与反应箱（3）的连接处嵌入有第三铜片（105），所述第一铜片（1031）与第二铜板（103）固定相连，所述第二铜片（1021）与第一铜板（102）固定相连，所述第三铜片（105）与第一铜板（102）和第二铜板（103）均固定相连。

5.根据权利要求1所述的一种PVD涂层机漏电保护装置，其特征在于，所述机体（2）侧壁上固定连接有观察窗（201）。

6.根据权利要求1所述的一种PVD涂层机漏电保护装置，其特征在于，所述机体（2）侧壁上固定设有通气网孔（202）。