[实用新型]一种面板调平机构

说明书

本实用新型公开了一种面板调平机构。所述面板调平机构包括，机架；第一铰接部，包括第一限位部和第一调位部；所述第一限位部设置有多个第一调位通孔，第一定位螺杆穿过所述第一调位通孔并螺接于机架；所述第一限位部设置有调位导轨；所述第一调位部设置有多个第二调位螺孔，升降螺杆连接于所述第二调位螺孔并止抵于机架，所述第一限位部设置有第一锁紧通孔，第二定位螺杆穿过所述第一锁紧通孔并螺接于机架；所述第一调位部设置有与调位导轨连接的调位滑槽；面板，枢接并止抵于第一调位部，所述面板能够相对于所述机架翻转。

技术领域

本实用新型涉及一种面板调平机构。

背景技术

对于半导体探针台，由于将针卡安装在面板上，为了保证测试的准确度和稳定性，需要保证面板保持设定的平面度。

实用新型内容

为解决面板平面度的调试要求，本实用新型提出一种面板调平机构。

本实用新型的技术方案为：所述面板调平机构包括，

机架；

第一铰接部，包括第一限位部和第一调位部；所述第一限位部设置有多个第一调位通孔，第一定位螺杆穿过所述第一调位通孔并螺接于机架；所述第一限位部设置有调位导轨；所述第一调位部设置有多个第二调位螺孔，升降螺杆连接于所述第二调位螺孔并止抵于机架，所述第一限位部设置有第一锁紧通孔，第二定位螺杆穿过所述第一锁紧通孔并螺接于机架；所述第一调位部设置有与调位导轨连接的调位滑槽；

面板，枢接并止抵于第一调位部，所述面板能够相对于所述机架翻转。

进一步的，所述第一调位部设置有枢接孔；所述枢接孔包括锥形孔部；

所述面板包括第一枢轴，所述第一枢轴包括锥面部；

所述锥面部止抵于锥形孔部，所述第一枢轴枢接于枢接孔。

进一步的，所述面板调平机构还包括有，推力滚子轴承和轴向锁紧螺钉；所述第一枢轴穿过枢接孔套设有推力滚子轴承，所述轴向锁紧螺钉止抵于推力滚子轴承并螺接于第一枢轴，所述推力滚子轴承位于第一调位部和轴向锁紧螺钉之间。

进一步的，所述第一调位部设置有第二锁紧通孔；调位锁紧螺杆穿过所述第二锁紧通孔螺接于第一限位部。

进一步的，所述面板调平机构还包括螺旋调平部，所述螺旋调平部设置有外螺纹螺接于机架，所述螺旋调平部一端设置有内六角调节槽；所述机架设置有连通所述内六角调节槽的调节孔，内六角扳手能够穿过所述调节孔到达所述内六角调节槽。

进一步的，所述螺旋调平部在远离内六角调节槽的一端设置有内螺纹；面板折叠后止抵于所述螺旋调平部靠近内螺纹的一侧；定位锁紧螺杆穿过面板螺接于螺旋调平部的内螺纹，面板止抵于螺旋调平部和定位锁紧螺杆之间。

进一步的，所述面板调平机构包括调平锁紧部，所述调平锁紧部包括螺接凸环和卡接部，所述螺接凸环设置有内螺纹，所述卡接部为设置有贯穿通道，所述贯穿通道连通螺接凸环设置的内螺纹，所述贯穿通道设置有裂口；所述调平锁紧部固定于机架，所述螺旋调平部与螺接凸环的内螺纹连接，所述螺旋调平部穿过所述贯穿通道；卡紧螺钉螺接于机架并止抵于裂口。

进一步的，所述面板调平机构包括两个螺旋调平部，所述两个螺旋调平部分布于面板远离第一铰接部一端。

进一步的，所述面板调平机构还包括第二铰接部（62），所述第二铰接部（62）和第一铰接部（61）设置于面板（30）枢接轴两端。

本实用新型的有益效果在于：面板在满足翻转的要求下，能够通过调节升降螺杆和/或第一调位部相对于第一限位部的位置实现对面板平面度的调节。

附图说明

图1为半导体测试探针台第一视角示意图；