[实用新型]一种硅片支撑装置及干燥炉传动装置

权利要求书

1.一种硅片支撑装置，其特征在于：包括支撑座和固定设置在所述支撑座上的支撑架组件，所述支撑架组件包括两个支撑架，两个所述支撑架间隔距离相对设置，每个所述支撑架上均设置有用于卡设硅片的卡槽，所述卡槽沿上下方向延伸，当硅片放置在所述硅片支撑装置中时，硅片的相对两侧分别卡设在两个所述支撑架的所述卡槽中。

2.根据权利要求1所述的硅片支撑装置，其特征在于：所述支撑架的卡槽呈U型结构，两个所述支撑架的所述卡槽的开口端相对设置。

3.根据权利要求2所述的硅片支撑装置，其特征在于：所述卡槽的U型结构的槽顶的宽度大于所述槽底的宽度。

4.根据权利要求2所述的硅片支撑装置，其特征在于：所述卡槽的U型结构包括相对设置的两端面，两端面上均设置有镂空区域。

5.根据权利要求2所述的硅片支撑装置，其特征在于：所述支撑架垂直设置于所述支撑座的上表面上。

6.根据权利要求1所述的硅片支撑装置，其特征在于：所述硅片支撑装置还包括固定设置在所述支撑座上的底支撑，所述底支撑设置在两个所述支撑架之间，且沿所述支撑座的长度方向延伸。

7.根据权利要求6所述的硅片支撑装置，其特征在于：所述底支撑呈开口向下设置的U型结构，所述U型结构包括相对设置的两端部，所述两端部卡设在所述支撑座的相对两侧面上。

8.根据权利要求6所述的硅片支撑装置，其特征在于：所述底支撑呈开口向下设置的U型结构，所述U型结构的顶部的中部向下凹。

9.根据权利要求1所述的硅片支撑装置，其特征在于：所述支撑座的长度方向上的两端部分别设置有用于与干燥炉传动装置的传输链条连接的连接部。

10.一种干燥炉传动装置，其特征在于：包括传输链条和固定设置在所述传输链条上的如权利要求1~9中任一项所述的硅片支撑装置。