[实用新型]一种承片台及半导体探针台

权利要求书

1.一种承片台（100），其特征在于：所述承片台（100）包括，

基座（20），包括支撑板（21），所述支撑板（21）水平设置；

放片部（30），连接有调心弹片（31）；所述调心弹片（31）设置有调心通孔（311）和多个变形裂口（312），所述多个变形裂口（312）分别连通于调心通孔（311）；

调心轴（40），通过轴承竖直连接于基座（20），使所述调心轴（40）能够相对于基座（20）转动；所述调心轴（40）远离基座（20）的一端设置有锥形部（41）；

所述放片部（30）放置于基座（20），所述调心通孔（311）套设并止抵于所述锥形部（41）；在放片部（30）重力作用下，所述调心弹片（31）沿变形裂口（312）变形，从而使放片部（30）沿竖直方向止抵于支撑板（21）。

2.根据权利要求1所述的承片台（100），其特征在于：所述承片台（100）还包括旋转驱动机构（50）；

所述旋转驱动机构（50）包括第一滑块（51）和第一连杆（52），所述第一滑块（51）铰接于第一连杆（52），所述第一滑块（51）通过第一滑轨（53）连接于基座（20），所述第一滑块（51）能够相对于第一滑轨（53）滑动；

所述放片部（30）设置有第一连接孔（32）；所述第一连接孔（32）与第一连杆（52）铰接；

所述第一滑块（51）通过丝杆连接有第一驱动部，所述第一驱动部能够驱动所述第一滑块（51）相对于所述第一滑轨（53）滑动；所述滑动的第一滑轨（53）带动放片部（30）相对于支撑板（21）沿调心轴（40）的轴线运动。

3.根据权利要求1所述的承片台（100），其特征在于：所述承片台（100）还包括固定基部（70），

所述基座（20）包括第一运动部（22），所述第一运动部（22）通过多个沿竖直方向的滑轨滑槽连接于固定基部（70）。

4.根据权利要求3所述的承片台（100），其特征在于：所述承片台（100）还包括第二驱动部和驱动螺杆；所述第二驱动部固定于固定基部（70），所述第二驱动部输出轴连接于驱动螺杆，所述驱动螺杆螺接于第一运动部（22）。

5.根据权利要求3所述的承片台（100），其特征在于：所述支撑板（21）设置有锁紧孔（2111）和调平孔（2112）；调平螺钉螺接并穿过所述调平孔（2112）止抵于第一运动部（22），锁紧螺钉螺接并穿过所述锁紧孔（2111）将支撑板（21）固定于第一运动部（22）。

6.根据权利要求5所述的承片台（100），其特征在于：所述支撑板（21）包括水平支撑部（211）和调平部（212），所述水平支撑部（211）与所述调平部（212）连接；

所述调平部（212）设置有锁紧孔（2111）和调平孔（2112）；

所述水平支撑部（211）设置有多个让位孔，所述多个让位孔分别连通锁紧孔（2111）和调平孔（2112）。

7.根据权利要求1所述的承片台（100），其特征在于：支撑板（21）设置有多个等高的支撑凸起（2113）。

8.根据权利要求1所述的承片台（100），其特征在于：所述支撑板（21）设置有真空吸附通道（b），所述真空吸附通道（b）连通有真空控制孔（b1）；所述放片部（30）止抵于支撑板（21）后，真空吸附通道（b）形成密闭的通道。

9.一种半导体探针台，其特征在于：所述半导体探针台包括上述权利要求1-8任意一项所述的承片台（100）。