[实用新型]一种载台旋转调整机构有效
申请号: | 201821885345.X | 申请日: | 2018-11-16 |
公开(公告)号: | CN209446629U | 公开(公告)日: | 2019-09-27 |
发明(设计)人: | 刘振辉;叶伟杰 | 申请(专利权)人: | 深圳市矽电半导体设备有限公司 |
主分类号: | G01R1/04 | 分类号: | G01R1/04;G01D11/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518172 广东省深圳市龙岗区龙城街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 传动部 滑动部 旋转调整机构 固定部 基部 传动滑块 驱动 载台 推力滚子轴承 本实用新型 滑动方向 滑轨滑槽 旋转平面 滑动 片部 套接 平行 | ||
1.一种载台旋转调整机构,其特征在于:所述载台旋转调整机构(100)包括,
基座(20);
调整基部(30),通过推力滚子轴承连接于基座(20);
放片部(40),连接于调整基部(30)上部;
第一调节部(50),包括第一驱动部(51)、第一传动部(52)、传动滑块部(53);所述传动滑块部(53)包括固定部(531)和滑动部(532),所述固定部(531)固定于调整基部(30),所述固定部(531)和滑动部(532)通过滑轨滑槽连接;所述第一传动部(52)套接于滑动部(532),所述第一传动部(52)能够相对于滑动部(532)旋转;所述第一驱动部(51)带动第一传动部(52)滑动;所述第一驱动部(51)带动第一传动部(52)滑动方向平行于第一传动部(52)相对于滑动部(532)旋转平面。
2.根据权利要求1所述的载台旋转调整机构,其特征在于:所述第一驱动部(51)通过丝杆连接于第一传动部(52),所述第一传动部(52)通过滑轨滑槽连接于基座(20)。
3.根据权利要求1所述的载台旋转调整机构,其特征在于:所述载台旋转调整机构(100)包括提升丝杆(501)和第二驱动部(60),所述第二驱动部(60)固定于调整基部(30),所述第二驱动部(60)连接于提升丝杆(501),第二驱动部(60)驱动所述提升丝杆(501)旋转;
所述放片部(40)设置有螺杆推进部(41)和定向导轨部(42);
所述提升丝杆(501)连接于螺杆推进部(41),所述定向导轨部(42)滑动连接于调整基部(30),所述提升丝杆(501)轴向平行于定向导轨部(42)相对于调整基部(30)的滑动方向。
4.根据权利要求1所述的载台旋转调整机构,其特征在于:所述滑动部(532)设置有套接柱(5321),所述套接柱(5321)延伸方向垂直于第一传动部(52)相对于滑动部(532)旋转平面;所述第一传动部(52)设置有套接孔,所述套接孔连接于套接柱(5321),使第一传动部(52)能够相对于套接柱(5321)旋转。
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