[实用新型]一种直插型硅片插片取片装置有效

专利信息
申请号: 201821891659.0 申请日: 2018-11-16
公开(公告)号: CN209071294U 公开(公告)日: 2019-07-05
发明(设计)人: 张学强;戴军;张建伟;罗银兵 申请(专利权)人: 罗博特科智能科技股份有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/687
代理公司: 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 代理人: 殷海霞
地址: 215000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 硅片 插片 梳齿组件 升降驱动组件 水平驱动组件 取片装置 夹持槽 梳齿片 直插型 梳齿 本实用新型 自动化设备 间隔设置 排列整齐 驱动梳齿 生产效率 相邻梳齿 依次排列 组件包括 间隔槽 破损率 支撑夹 夹持 两组 取片 平行 升降 驱动
【权利要求书】:

1.一种直插型硅片插片取片装置,其特征在于,包括梳齿组件、升降驱动组件、两置中组件和水平驱动组件;

所述梳齿组件包括两组相互平行并间隔设置的梳齿,所述梳齿包括若干依次排列的梳齿片,相邻所述梳齿片之间设有间隔槽,所述梳齿片的顶部设有夹持槽,所述夹持槽用于对产品进行夹持,所述升降驱动组件用于驱动所述梳齿升降;

所述两置中组件分别设于所述梳齿组件的两侧,所述置中组件包括置中板,所述水平驱动组件用于驱动两置中板分别从两侧向中间运动,将产品置中。

2.如权利要求1所述的直插型硅片插片取片装置,其特征在于,所述升降驱动组件包括竖直导轨、升降座、升降电机,所述升降座设于所述竖直导轨上,所述升降电机驱动所述升降座升降,所述梳齿组件设于所述升降座上。

3.如权利要求2所述的直插型硅片插片取片装置,其特征在于,所述梳齿底部设有第一支撑架,所述第一支撑架与升降座固定连接。

4.如权利要求1所述的直插型硅片插片取片装置,其特征在于,所述水平驱动组件包括水平轨道、水平座、水平气缸,所述水平座设于所述水平导轨上,所述水平气缸驱动所述水平座水平运动,所述置中组件设于所述水平座上。

5.如权利要求4所述的直插型硅片插片取片装置,其特征在于,所述置中板底部设有第二支撑架,所述第二支撑架与所述水平座固定连接。

6.如权利要求1所述的直插型硅片插片取片装置,其特征在于,所述置中板上设有若干依次排列的产品容纳槽。

7.如权利要求1所述的直插型硅片插片取片装置,其特征在于,所述置中板上对称设置有上限位板和下限位板,所述上限位板与下限位板互相配合。

8.如权利要求1所述的直插型硅片插片取片装置,其特征在于,所述夹持槽的开口处设有产品引导斜面。

9.如权利要求1所述的直插型硅片插片取片装置,其特征在于,所述间隔槽的深度大于所述夹持槽的深度。

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