[实用新型]基板表面检测装置有效
| 申请号： | 201821892291.X | 申请日： | 2018-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN210128944U | 公开（公告）日： | 2020-03-06 |
| 发明（设计）人： | 崔汉铉 | 申请（专利权）人： | 塔工程有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/89 | 分类号： | G01N21/89 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人： | 王建国;郭放 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 表面 检测 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种基板表面检测装置，其中,包括：
移送单元，用于移送基板；
第1检测单元，包括拍摄所述基板的下面的第1摄像机，以检测所述基板的下面；以及
第2检测单元，拍摄所述基板的边缘部的第2摄像机，以检测所述基板的边缘部，
所述第1摄像机相比于所述第2摄像机高速运行。
2.一种基板表面检测装置，其中,包括：
移送单元，用于移送基板；
第1检测单元，包括拍摄所述基板的下面的第1摄像机，以检测所述基板的下面；以及
第2检测单元，拍摄所述基板的边缘部的第2摄像机，以检测所述基板的边缘部，
与所述第2摄像机相比，所述第1摄像机拍摄宽领域。
3.根据权利要求1或2所述的基板表面检测装置，其中，
所述第1检测单元还包括:
第1光源,向所述基板的下面照射光，
所述第1摄像机以向所述基板的角度可进行调节的方式设置。
4.根据权利要求1或2所述的基板表面检测装置，其中，
所述第2检测单元还包括:
第2光源,向所述基板的边缘部照射光，
所述第2摄像机以向所述基板的角度可进行调节的方式设置。
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