[实用新型]一种去胶腔体排液装置有效
| 申请号： | 201821892403.1 | 申请日： | 2018-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN209036281U | 公开（公告）日： | 2019-06-28 |
| 发明（设计）人： | 颜志军;陈诚 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34;B24B55/00 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 阀门 排液管 液位检测装置 去胶腔 自动控制装置 本实用新型 排液装置 液体收集 开合 排液 开合状态 排液过程 液体容量 便利性 减小 受控 液位 传送 排放 | ||
【权利要求书】：
1.一种去胶腔体排液装置，其特征在于，包括一连接去胶腔体的排液管和上下设置于所述排液管上的第一阀门和第二阀门，于所述第一阀门和所述第二阀门之间还设置有液位检测装置。
2.如权利要求1所述的去胶腔体排液装置，其特征在于，所述第一阀门设置于所述第二阀门的上方位置。
3.如权利要求1所述的去胶腔体排液装置，其特征在于，所述第一阀门和所述第二阀门均包括电磁阀。
4.如权利要求1所述的去胶腔体排液装置，其特征在于，所述液位检测装置靠近所述第一阀门设置而远离所述第二阀门。
5.如权利要求1所述的去胶腔体排液装置，其特征在于，所述液位检测装置包括液位检测传感器。
6.如权利要求1所述的去胶腔体排液装置，其特征在于，所述排液管上还开设有一制程排气口，所述制程排气口开设于所述第一阀门的上方位置。
7.如权利要求1所述的去胶腔体排液装置，其特征在于，还包括一排液尾管，所述排液尾管连接所述排液管的排液口。
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