[实用新型]一种硅棒切割后的水洗脱胶装置有效

专利信息
申请号: 201821892445.5 申请日: 2018-11-16
公开(公告)号: CN209034995U 公开(公告)日: 2019-06-28
发明(设计)人: 张银鹏;王进 申请(专利权)人: 宇泽(江西)半导体有限公司
主分类号: B08B3/10 分类号: B08B3/10;B08B3/08
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 336000 江西省*** 国省代码: 江西;36
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摘要:
搜索关键词: 主体箱 底部外壁 螺栓固定 螺纹连接 分流管 脱胶剂 导管 本实用新型 硅棒切割 脱胶装置 支撑板 脱胶 鼓风机出风口 鼓风机 清洁度 插孔内壁 单晶硅棒 底部内壁 底部四角 顶部外壁 脱胶效果 整体装置 搅动 滞留的 螺纹 插接 插孔 底座 废屑 外壁
【说明书】:

实用新型公开了一种硅棒切割后的水洗脱胶装置,包括主体箱,所述主体箱底部四角外壁均通过螺栓固定有支撑板,且四个支撑板底部外壁均通过螺纹连接有底座,所述主体箱底部外壁通过螺栓固定有鼓风机,且鼓风机出风口通过螺纹连接有导管,所述主体箱底部外壁开有插孔,且插孔内壁插接有导管,所述主体箱底部内壁通过螺栓固定有分流管,且分流管底部外壁通过螺纹与导管的一端相连接,所述分流管顶部外壁通过螺纹连接有气嘴。本实用新型可通过气流对主体箱内的脱胶剂进行搅动,促进了脱胶效果,使脱胶剂充分与单晶硅棒进行反应,提高了脱胶的效率和质量,避免了残存的脱胶剂和脱胶后的废屑的滞留的情况,提高整体装置的清洁度。

技术领域

本实用新型涉及水洗脱胶装置技术领域,尤其涉及一种硅棒切割后的水洗脱胶装置。

背景技术

在电子元件的生产工艺中,我们会需要使用到单晶硅片,它是在通过滚磨、倒角后的单晶硅棒上切割出来的,而单晶硅棒是通过区熔或直拉工艺在炉膛中整形或提拉形成的。同时在单晶硅棒切割后需要进行脱胶处理。

然而,现有的单晶硅棒切割后的水洗脱胶装置大多脱胶效果不好,且在脱胶后极易残留脱胶剂和胶体废屑,不仅影响单晶硅棒的清洁,而且降低了单晶硅棒的脱胶效率,同时脱胶板不易拆卸和清洗,因此,亟需一种硅棒切割后的水洗脱胶装置。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种硅棒切割后的水洗脱胶装置。

为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:

一种硅棒切割后的水洗脱胶装置,包括主体箱,所述主体箱底部四角外壁均通过螺栓固定有支撑板,且四个支撑板底部外壁均通过螺纹连接有底座,所述主体箱底部外壁通过螺栓固定有鼓风机,且鼓风机出风口通过螺纹连接有导管,所述主体箱底部外壁开有插孔,且插孔内壁插接有导管,所述主体箱底部内壁通过螺栓固定有分流管,且分流管底部外壁通过螺纹与导管的一端相连接,所述分流管顶部外壁通过螺纹连接有气嘴,所述主体箱两侧外壁通过螺栓固定有脱胶剂箱,且两个脱胶剂箱底部外壁通过螺钉固定有液泵,两个所述液泵出液口均通过螺纹连接有出液管,且两个出液管的一端通过螺纹与主体箱两侧内壁相连接,所述主体箱顶部外壁通过铰链铰接有箱盖,且主体箱两侧内壁均通过螺栓固定有电动滑轨,两个所述电动滑轨底部内壁均滑动连接有滑块,且两个滑块相对一侧外壁均通过螺纹连接有两个安装架。

优选的,两个所述安装架相对一侧外壁均通过螺栓固定有连接件,且两个安装架相对的内壁均设置有螺纹孔。

优选的,所述螺纹孔内壁均通过设置有脱胶板,且每个脱胶板相互衔接处均焊接有连接网圈。

优选的,其中一个所述安装架顶部两侧外壁均通过螺纹连接有支撑杆,且两个支撑杆顶部外壁均开有连接孔。

优选的,两个所述连接孔内壁均插接有同一个连接杆,且连接杆顶部外壁均通过铰链铰接有挂钩。

优选的,所述主体箱正面外壁通过螺栓固定有安装板,且安装板正面外壁通过螺栓固定有操作面板。

优选的,所述电动滑轨、液泵、鼓风机和操作面板均通过导线连接有开关,且开关均通过信号线与控制器的输出端相连接。

与现有技术相比,本实用新型提供了一种硅棒切割后的水洗脱胶装置,具备以下有益效果:

1.该用于硅棒切割后的水洗脱胶装置,通过在主体箱的底部设置有鼓风机,且鼓风机连接有导管,导管连接有分流管,分流管顶部设置有气嘴,鼓风机将气流注入分流管内,再通过分流管上的气嘴进行喷出,进而可通过气流对主体箱内的脱胶剂进行搅动,促进了脱胶效果,使得脱胶剂充分与单晶硅棒进行反应,提高了脱胶的效率和质量。

2.该用于硅棒切割后的水洗脱胶装置,通过在脱胶板的顶部设置有卡槽,能够对单晶硅棒进行固定,同时在脱胶板相互连接处设置有连接网圈,能够对脱胶剂进行有效分散,强化了脱胶效果。

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