[实用新型]一种硅棒切割后的水洗脱胶装置有效
申请号: | 201821892445.5 | 申请日: | 2018-11-16 |
公开(公告)号: | CN209034995U | 公开(公告)日: | 2019-06-28 |
发明(设计)人: | 张银鹏;王进 | 申请(专利权)人: | 宇泽(江西)半导体有限公司 |
主分类号: | B08B3/10 | 分类号: | B08B3/10;B08B3/08 |
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地址: | 336000 江西省*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 主体箱 底部外壁 螺栓固定 螺纹连接 分流管 脱胶剂 导管 本实用新型 硅棒切割 脱胶装置 支撑板 脱胶 鼓风机出风口 鼓风机 清洁度 插孔内壁 单晶硅棒 底部内壁 底部四角 顶部外壁 脱胶效果 整体装置 搅动 滞留的 螺纹 插接 插孔 底座 废屑 外壁 | ||
本实用新型公开了一种硅棒切割后的水洗脱胶装置,包括主体箱,所述主体箱底部四角外壁均通过螺栓固定有支撑板,且四个支撑板底部外壁均通过螺纹连接有底座,所述主体箱底部外壁通过螺栓固定有鼓风机,且鼓风机出风口通过螺纹连接有导管,所述主体箱底部外壁开有插孔,且插孔内壁插接有导管,所述主体箱底部内壁通过螺栓固定有分流管,且分流管底部外壁通过螺纹与导管的一端相连接,所述分流管顶部外壁通过螺纹连接有气嘴。本实用新型可通过气流对主体箱内的脱胶剂进行搅动,促进了脱胶效果,使脱胶剂充分与单晶硅棒进行反应,提高了脱胶的效率和质量,避免了残存的脱胶剂和脱胶后的废屑的滞留的情况,提高整体装置的清洁度。
技术领域
本实用新型涉及水洗脱胶装置技术领域,尤其涉及一种硅棒切割后的水洗脱胶装置。
背景技术
在电子元件的生产工艺中,我们会需要使用到单晶硅片,它是在通过滚磨、倒角后的单晶硅棒上切割出来的,而单晶硅棒是通过区熔或直拉工艺在炉膛中整形或提拉形成的。同时在单晶硅棒切割后需要进行脱胶处理。
然而,现有的单晶硅棒切割后的水洗脱胶装置大多脱胶效果不好,且在脱胶后极易残留脱胶剂和胶体废屑,不仅影响单晶硅棒的清洁,而且降低了单晶硅棒的脱胶效率,同时脱胶板不易拆卸和清洗,因此,亟需一种硅棒切割后的水洗脱胶装置。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种硅棒切割后的水洗脱胶装置。
为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:
一种硅棒切割后的水洗脱胶装置,包括主体箱,所述主体箱底部四角外壁均通过螺栓固定有支撑板,且四个支撑板底部外壁均通过螺纹连接有底座,所述主体箱底部外壁通过螺栓固定有鼓风机,且鼓风机出风口通过螺纹连接有导管,所述主体箱底部外壁开有插孔,且插孔内壁插接有导管,所述主体箱底部内壁通过螺栓固定有分流管,且分流管底部外壁通过螺纹与导管的一端相连接,所述分流管顶部外壁通过螺纹连接有气嘴,所述主体箱两侧外壁通过螺栓固定有脱胶剂箱,且两个脱胶剂箱底部外壁通过螺钉固定有液泵,两个所述液泵出液口均通过螺纹连接有出液管,且两个出液管的一端通过螺纹与主体箱两侧内壁相连接,所述主体箱顶部外壁通过铰链铰接有箱盖,且主体箱两侧内壁均通过螺栓固定有电动滑轨,两个所述电动滑轨底部内壁均滑动连接有滑块,且两个滑块相对一侧外壁均通过螺纹连接有两个安装架。
优选的,两个所述安装架相对一侧外壁均通过螺栓固定有连接件,且两个安装架相对的内壁均设置有螺纹孔。
优选的,所述螺纹孔内壁均通过设置有脱胶板,且每个脱胶板相互衔接处均焊接有连接网圈。
优选的,其中一个所述安装架顶部两侧外壁均通过螺纹连接有支撑杆,且两个支撑杆顶部外壁均开有连接孔。
优选的,两个所述连接孔内壁均插接有同一个连接杆,且连接杆顶部外壁均通过铰链铰接有挂钩。
优选的,所述主体箱正面外壁通过螺栓固定有安装板,且安装板正面外壁通过螺栓固定有操作面板。
优选的,所述电动滑轨、液泵、鼓风机和操作面板均通过导线连接有开关,且开关均通过信号线与控制器的输出端相连接。
与现有技术相比,本实用新型提供了一种硅棒切割后的水洗脱胶装置,具备以下有益效果:
1.该用于硅棒切割后的水洗脱胶装置,通过在主体箱的底部设置有鼓风机,且鼓风机连接有导管,导管连接有分流管,分流管顶部设置有气嘴,鼓风机将气流注入分流管内,再通过分流管上的气嘴进行喷出,进而可通过气流对主体箱内的脱胶剂进行搅动,促进了脱胶效果,使得脱胶剂充分与单晶硅棒进行反应,提高了脱胶的效率和质量。
2.该用于硅棒切割后的水洗脱胶装置,通过在脱胶板的顶部设置有卡槽,能够对单晶硅棒进行固定,同时在脱胶板相互连接处设置有连接网圈,能够对脱胶剂进行有效分散,强化了脱胶效果。
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