[实用新型]基板表面检测装置

说明书

本实用新型中实施例中的基板表面检测装置包括：移送单元，用于移送基板；第1检测单元，具备用于检测基板的下面的多个第1摄像机，多个第1摄像机以相互不同的角度面向基板的下面的方式进行配置；第2检测单元，具备多个用于检测基板的边缘部的第2摄像机。

技术领域

本实用新型涉及一种基板表面检测装置，用于检测基板表面。

背景技术

通常，用于平板显示器的液晶显示面板、有机电致发光显示器面板、无机电致发光显示器面板、透射投影基板、反射投影基板等使用单元玻璃面板(以下称为“单元基板”)，所述单元玻璃面板是通过将如玻璃等脆性母体玻璃面板(以下称为“基板”)切割成预定尺寸而获得。

将这些基板应用于产品前，需要执行对基板表面进行检测的工序。为了检测基板的表面，使用了多种基板表面检测装置。基板表面检测装置包括在基板表面对向配置的摄像机，根据摄像机所拍摄的基板表面的图像检测出基板表面的缺陷。

这类的基板表面检测装置，使用单一种类的摄像机,对基板的下面和基板的边缘部进行拍摄。因为在检测基板整个表面时使用了高价的高速摄像机，从而导致制造基板表面检测装置所需的费用增加。

实用新型内容

本实用新型为了解决上述以往技术的问题,本实用新型目的在于提供一种基板表面检测装置，通过使用规格不同的第1检测单元及第2检测单元，对基板的下面和基板的边缘部进行检测，从而降低制造基板表面检测装置所需的费用，加快基板表面的检测过程。

本实用新型的实施例中的一种基板表面检测装置可以包括：移送单元，用于移送基板；第1检测单元，具备用于检测基板的下面的多个第1摄像机，多个第1摄像机以相互不同的角度面向基板的下面的方式进行配置；第2检测单元，具备多个用于检测基板的边缘部的第2摄像机。

第1摄像机相比于所述第2摄像机高速运行。

与所述第2摄像机相比，第1摄像机能够摄像宽领域。

实用新型效果

分别具备第1检测单元和第2检测单元，其中,第1检测单元对基板的下面进行要求高精密度的检测项目；第2检测单元对基板的边缘部进行不要求高精密度的检测项目。与构成第1检测单元的第1摄像机的规格相比，构成第2检测单元的第2摄像机的规格要低。所以,与检测基板的下面和基板的边缘部时使用单一类型的高价的高速摄像机相比，降低了制造基板表面检测装置所需的费用。

另外，基板依次通过第1检测单元及第2检测单元，基板的下面及基板的边缘部依次接受检测，所以可以加快基板表面的检测过程。

附图说明

图1是概略表示本实用新型实施例中的基板表面检测装置的侧视图。

图2是概略表示本实用新型实施例中的基板表面检测装置的平面图。

图3是概略表示本实用新型实施例中的基板表面检测装置的第1移送单元的侧视图。

图4是本实用新型实施例中的基板表面检测装置的控制方块图。

图5至图9是依次表示本实用新型实施例中的基板表面检测装置的运行的概略图。

附图标记：

10:装载台

20:第1移送单元

30:第1检测单元

40:第2移送单元

50:第2检测单元

60:控制单元

具体实施方式