[实用新型]一种轻质合金材料的耦合等离子体表面处理装置

权利要求书

1.一种轻质合金材料的耦合等离子体表面处理装置，包括真空腔体、真空获得及控制组件、气体流量控制模块、等离子体产生模块、等离子能量控制模块，衬底及温度控制模块，其特征在于：等离子体产生模块由电感耦合式等离子体源和射频电源（1）组成，所述电感耦合式等离子体源是由石英窗口（2）和射频线圈（3）组成；等离子能量控制模块由电容耦合式等离子体源（4）、直流脉冲电源（5）、电磁线圈（6）组成；石英窗口（2）位于真空腔体（7）上端，石英窗口（2）上方设有射频线圈（3），射频线圈（3）上方连接有射频电源（1），石英窗口（2）旁边设有气体流量控制模块（8），所述气体流量控制模块（8）固定在真空腔体（7）的上端，所述气体流量控制模块（8）主要由气体流量传感器和控制器组成，所述气体流量传感器的一端伸入真空腔体（7），气体流量传感器的另一端与控制器相连；所述真空腔体（7）内部设有衬底及温度控制模块（9），衬底及温度控制模块（9）的底面与电容耦合式等离子体源（4）的一端相连，电容耦合式等离子体源（4）的另一端穿过真空腔体（7）的底面与直流脉冲电源（5）相连，直流脉冲电源（5）的旁边设有真空获得及控制组件（10），所述真空获得及控制组件（10）采用真空管道与真空腔体（7）连通；所述真空腔体（7）的外侧套设有上、下一对电磁线圈（6）。

2.根据权利要求1所述的一种轻质合金材料的耦合等离子体表面处理装置，其特征在于：所述真空获得及控制组件（10）由真空泵、真空阀、真空管道、真空计组成，真空管道一的（11）上端与真空腔体（7）相连，真空管道一（11）的侧端口与旁路真空管道（14）的顶端相连，旁路真空管道（14）的底端与真空阀二（15）的顶端口相连，真空阀二（15）的底端口分为两路，分别与低真空泵（17）、高真空泵（13）的一侧相连，真空管道一（11）的下端与真空阀一（12）的上端口连接，真空阀一（12）的下端口和高真空泵（13）的上端相连，真空计（18）则与真空腔体（7）相连，可显示真空度；通过各真空泵和真空阀的开启和控制可使真空腔体内的真空度达到所需要求。

3.根据权利要求1所述的一种轻质合金材料的耦合等离子体表面处理装置，其特征在于：所述真空腔体（7）为不锈钢圆筒形腔体或者不锈钢方形腔体。