[实用新型]一种真空镀膜机的固化装置

说明书

本实用新型公开了一种真空镀膜机的固化装置，包括底座、外壳、风道、工作台、基板以及光源；外壳与底座焊接连接，外壳与底座之间形成空腔；外壳的顶部设置有第一风机、第二风机以及控制器；风道嵌入在外壳的左右两侧，风道的底部设置有多个吸风口；工作台固定设置在伸缩件上；外壳底部设置有滑轨，工作台与外壳之间通过滑轨滑动连接；基板安装在工作台的上方，基板的两侧与外壳固定连接；多个光源等间距设置在基板上；光源的外部设置有反光罩，反光罩的焦点朝向工作台；基板的顶部竖直设置多个散热鳍片；保证了工作台内的温度适中，不会过高，同时也避免了风机直接对着紫外线灯管吹，造成紫外线灯管功率不足，胶水干燥不彻底的问题。

技术领域

本实用新型涉及镀膜固化技术领域，尤其涉及一种真空镀膜机的固化装置。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种，需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。基片与靶材同在真空腔中。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程(散点－岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜；薄膜附着在基片上之后需要通过固化装置，保持固定；现有技术中一般使用紫外线照射进行固化，紫外线灯照射后会产生大量的热，多余的热量需要散发；一般的散热组件直接对着紫外线灯吹，这样做的后果是使紫外线灯因热量损失过大而不能全功率工作(灯光由白色变为不刺眼的蓝色)，使胶水根本不能干燥。

实用新型内容

为解决背景技术中存在的技术问题，本实用新型提出一种真空镀膜机的固化装置，以解决固化装置内的散热问题。

本实用新型提出的一种真空镀膜机的固化装置，包括底座、外壳、风道、工作台、基板以及光源；

外壳与底座焊接连接，外壳与底座之间形成空腔；外壳的顶部设置有第一风机、第二风机以及控制器；风道嵌入在外壳的左右两侧，风道的顶部与第一风机相连接，风道的底部设置有多个吸风口；

底座上设置有多个伸缩件，底座的内部设置有驱动伸缩件沿着竖直方向上下运动的驱动件；工作台固定设置在伸缩件上；外壳底部设置有滑轨，工作台与外壳之间通过滑轨滑动连接；

基板安装在工作台的上方，基板的两侧与外壳固定连接；多个光源等间距设置在基板上；光源的外部设置有反光罩，反光罩的焦点朝向工作台；相邻设置的光源之间设置有超声波传感器；基板内设置有空腔，空腔内设置有供光源供电的电缆线以及供超声波传感器传递信息的通讯线；基板的顶部竖直设置多个散热鳍片；

控制器与超声波传感器通讯连接，控制器与驱动件的电源开关通讯连接；控制器与光源的开关通讯连接。

优选的，第一风机、第二风机均负压风机；第一风机、第二风机的电源开关均与控制器通讯连接。

优选的，光源包括紫外线灯管、灯罩以及连接管；灯罩设置在紫外线灯管的外部，连接管设置在紫外线灯管的顶部，连接管与基板内部的空腔相连接。

优选的，反光罩为半圆形，反光罩采用铝材制作，反光罩的内侧设置有镜面氧化铝涂层。

优选的，连接管与基板采用铝合金材料制成。

优选的，紫外线灯管为汞蒸气压灯，紫外线灯管采用石英制成，石英管内含有用于发射能量的汞以及氩气；紫外线灯管的波长为200nm到450nm。