[实用新型]用于洁净厂房的高开孔率华夫板

说明书

本实用新型提供了一种用于洁净厂房的高开孔率华夫板系统，本实用新型高开孔率华夫板系统设计结构体系为钢筋混凝土密肋梁楼板体系，包括钢筋混凝土梁、钢筋混凝土楼板、楼板开孔、框架区域CHEESE板及专用模板。通过合理布置楼板开孔以及设置结构构件，进一步提高华夫板开孔率，以满足洁净室对工艺穿管和气流组织的需求。本实用新型高开孔率华夫板开孔直径由350mm提高到380mm，同时通过合理设置框架区域楼板开孔，该区域设置CHEESE板，华夫板开孔率由22.27%提高到30.63%。并且本实用新型高开孔率华夫板系统通过调整专用模板盖板厚度，盖板厚度由20mm修改为50mm，解决盖板容易脱落的问题，便于采用机械操作，提高施工效率和华夫板成型质量。

技术领域

本实用新型属于半导体生产基础技术支持领域，具体来讲就是一种用于满足大型集成电路、液晶面板显示器等高科技电子类工业生产厂房洁净室工艺穿管、气流组织需求和工艺设备防微振要求的高开孔率华夫板系统。

背景技术

随着国际国内大型集成电路、液晶显示等科学技术的发展，生产设备和工艺需求对生产厂房洁净等级的要求越来越高。受限于结构设计及施工因素，现阶段传统华夫板开孔率较低。开孔直径一般不超过350mm，华夫板开孔率一般不超过25%。

本实用新型针对传统华夫板开孔率低的缺点，提供一种新型华夫板系统方案，通过增加华夫板开孔直径及开孔布置数量，合理设置结构构件和钢筋，进一步提高华夫板开孔率，用以满足洁净室对工艺穿管和气流组织的需求。

同时因传统施工工艺中专用模板盖板厚度只有20mm，在混凝土浇筑和成型过程中盖板容易脱落，本实用新型通过调整模板盖板厚度，盖板厚度由20mm修改为50mm，解决盖板容易脱落的问题，便于采用机械操作，提高施工效率和华夫板成型质量。

实用新型内容

本实用新型属于半导体生产基础技术支持领域，具体来讲就是一种用于满足大型集成电路、液晶面板显示器等高科技电子类工业生产厂房洁净室工艺穿管和气流组织需求的高开孔率华夫板系统。为了解决传统华夫板开孔率较低的不足；另外，本实用新型通过合理设置开孔及结构构件，开孔直径由350mm提高到380mm，开孔数量由120个提升为140个，大幅提高华夫板开孔率，以满足洁净室内气流组织的需求和工艺管线穿楼板时安装、施工的便利性和功能使用需求。

本实用新型是这样实现的，构造一种用于洁净厂房的高开孔率华夫板，其特征在于：包括钢筋混凝土肋梁、钢筋混凝土楼板、楼板开孔、框架区域CHEESE板；

所述华夫板中的现浇混凝土肋梁均双向设置，形成双向网格结构；在混凝土肋梁形成的每一个井字形网格中设置四个圆形的楼板开孔，圆形的楼板开孔在钢筋混凝土楼板中上下贯通。

根据本实用新型所述用于洁净厂房的高开孔率华夫板，其特征在于：所述钢筋混凝土肋梁高度约为1000~1200mm。

根据本实用新型所述用于洁净厂房的高开孔率华夫板，其特征在于：所述华夫板中钢筋混凝土楼板厚度为200~250mm。

根据本实用新型所述用于洁净厂房的高开孔率华夫板，其特征在于：楼板开孔开孔直径为380mm。

本实用新型在华夫板系统中设置现浇混凝土肋梁，用以增加结构刚度，混凝土肋梁高度约为1000~1200mm。所述华夫板系统中现浇混凝土肋梁均双向设置，形成双向网格结构。华夫板中井字形网格楼板厚度约为200~250mm。

本实用新型考虑在混凝土肋梁形成的每一个井字形网格中设置四个圆形开孔，要求圆形开孔在楼板中等直径上下贯通。本实用新型华夫板中的开孔直径由传统华夫版开孔直径350mm提高到380mm。

本实用新型华夫板系统通过合理设置钢筋布置和楼板开孔，在混凝土框架梁区域设置混凝土CHEESE板，增加楼板开孔，每一开间楼板开孔数量由120个提升为140个。