[实用新型]一种气瓶用MOCVD进出气装置

权利要求书

1.一种气瓶用MOCVD进出气装置，其特征在于：包括进气连接接口（1）、固定管(2)、出气连接接口（3）、上密封固定连接机构、下固定连接机构，所述固定管(2)内部设置输气管，所述输气管底端插入气瓶内，所述固定管(2)上部设置进气连接接口（1），所述固定管(2)一侧设置出气连接接口（3），所述进气连接接口（1）和出气连接接口（3）均与所述输气管连接，所述固定管(2)上设置有上密封固定连接机构，所述气瓶的瓶口处设置有下固定连接机构，所述上密封固定连接机构与下固定连接机构相互配合连接。

2.根据权利要求1所述的一种气瓶用MOCVD进出气装置，其特征在于：所述上密封固定连接机构包括上固定螺母（5）、下固定螺母（6）、上连接法兰(7)，所述固定管(2)外壁上设置丝扣（4），所述固定管(2)通过丝扣（4）依次配合安装上固定螺母（5）、上连接法兰(7)、下固定螺母（6）。

3.根据权利要求2所述的一种气瓶用MOCVD进出气装置，其特征在于：所述下固定螺母（6）通过垫片（8）配合安装在所述固定管(2)上。

4.根据权利要求1或2或3所述的一种气瓶用MOCVD进出气装置，其特征在于：所述下固定连接机构为下连接法兰（9），所述下连接法兰（9）螺纹安装在所述气瓶的瓶口上，所述下连接法兰（9）与所述上密封固定连接机构配合连接。

5.根据权利要求1或2或3所述的一种气瓶用MOCVD进出气装置，其特征在于：所述下固定连接机构包括下连接法兰（9）、定位环（10）、定位环支撑件（11）、下连接法兰吊篮（12），所述下连接法兰吊篮（12）内放置气瓶，所述下连接法兰吊篮（12）外沿上设置下连接法兰（9），所述下连接法兰吊篮（12）内沿上设置定位环支撑件（11），所述定位环支撑件（11）上部设置定位环（10），所述定位环（10）套在所述气瓶的瓶口上，所述下连接法兰（9）与所述上密封固定连接机构配合连接。