[实用新型]一种高精度镜片定位器

说明书

本实用新型提供了一种高精度镜片定位器，包括镜座、外壳、镜片、旋合圈、阻尼环和微调机构，所述旋合圈与所述镜座旋合连接，所述阻尼环设置在所述旋合圈上，所述镜座上设置有导向面，所述外壳可滑动的安装在所述导向面上，所述镜片安装在所述外壳内；所述阻尼环抵靠在所述外壳远离所述导向面的一侧，调节所述旋合圈与所述镜座的旋合深度，可以调节所述阻尼环施加在所述外壳上的压力；所述微调机构安装在所述镜座上，所述微调机构用于驱动所述外壳在所述导向面上滑动。本实用新型提供的高精度镜片定位器，能够同时实现高精度、长行程并且具有自锁能力和高稳定性。

技术领域

本实用新型涉及光学系统中的高精度驱动装置，尤其涉及一种高精度镜片定位器。

背景技术

高精度驱动装置在先进光学系统集成、精密机械制造及超精密加工等多个领域中的应用愈发广泛，因此也需要满足各种不同应用需求。高精度驱动装置通常由驱动源与柔性机构组成，通过驱动源输出激励，柔性机构刚度高、位置可恢复，起到导向作用，两者的设计及选型决定了驱动装置的行程与精度。现有高精度驱动装置，其驱动源输出频率高、行程越大精度越低，其柔性机构变形越大刚度越高，因此无法同时获得长行程与高精度，通常应用在超精密加工领域。先进光学系统集成领域针对高精度驱动装置的应用提出了高精度、长行程、高稳定性、可锁紧固定等需求，因此高精度驱动装置的实现方案必须进行重新设计。

基于上述描述，现有超精密驱动装置难以同时实现高精度和长行程，并同时获得自锁能力和高稳定性，需要高精度电子驱动源，造价昂贵，难以实现。

发明内容

本实用新型旨在至少解决上述技术问题之一，提供一种能够同时实现高精度、长行程并且具有自锁能力和高稳定性的高精度镜片定位器。

为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型提供了一种高精度镜片定位器，包括镜座、外壳、镜片、旋合圈、阻尼环和微调机构，所述旋合圈与所述镜座旋合连接，所述阻尼环设置在所述旋合圈上，所述镜座上设置有导向面，所述外壳可滑动的安装在所述导向面上，所述镜片安装在所述外壳内；所述阻尼环抵靠在所述外壳远离所述导向面的一侧，调节所述旋合圈与所述镜座的旋合深度，可以调节所述阻尼环施加在所述外壳上的压力；所述微调机构安装在所述镜座上，所述微调机构用于驱动所述外壳在所述导向面上滑动。

一些实施例中，所述微调机构为微调螺杆，所述微调螺杆与所述镜座螺纹连接，所述微调螺杆的内端抵靠在所述外壳上；旋转所述微调螺杆，可驱动所述外壳在所述导向面上滑动。

一些实施例中，所述微调螺杆包括三个，三个所述微调螺杆相互之间呈120°角均布在所述镜座的外周。

一些实施例中，所述旋合圈靠近所述外壳的一侧设置有环形凹槽，所述阻尼环安装在所述环形凹槽内。

一些实施例中，所述旋合圈和阻尼环均为柔性结构。

一些实施例中，所述镜座的内壁设置有不连续的内螺纹，所述旋合圈设置有外螺纹，所述旋合圈与所述镜座通过外螺纹与内螺纹的配合实现旋合连接。

一些实施例中，所述旋合圈为纺锤形结构，所述旋合圈上设置有柔性槽。

一些实施例中，所述微调机构为微调螺杆，所述微调螺杆包括相互呈120°夹角均布在镜座外周的三个，所述内螺纹位于所述镜座上对应设置微调螺杆的位置。