[实用新型]用于定向凝固生长多晶硅的冷却机构

权利要求书

1.用于定向凝固生长多晶硅的冷却机构，包括炉体(1)，其特征在于，所述炉体(1)内设有同轴心线的冷却盘(2)，炉体(1)内还设有隔热环板(3)，隔热环板(3)的径向外缘与炉体(1)内壁接触连接、径向内缘与冷却盘(2)的外壁接触连接；冷却盘(2)上板面上放置坩埚(4)，坩埚(4)外套设有保温筒(6)，保温筒(6)的内壁固定有石墨发热体(5)，保温筒(6)外环设有电磁感应圈(7)；

冷却环板(3)上还开设有环槽(8)，保温筒(6)的轴向底端适配伸入、且贯穿环槽(8)，且保温筒(6)贯穿环槽(8)的端部沿轴向开设有限位卡槽(12)；隔热环板(3)下方的炉体(1)内伸入转动套管(9)，所述转动套管(9)的轴向一端由驱动机构驱动转动、轴向另一端与冷却盘(2)的下板面转动连接；转动套管(9)上还套设有从动圆盘(10)，从动圆盘(10)的外缘螺纹连接有调节筒(11)，调节筒(11)的轴向上端通过嵌入所述限位卡槽(12)内与保温筒(6)连接；转动套管(9)正反向转动，带动从动圆盘(10)正反向转动，通过螺纹传动带动调节筒(11)上下移动、从而推动保温筒(6)和石墨发热体(5)向上或向下移动。

2.根据权利要求1所述的用于定向凝固生长多晶硅的冷却机构，其特征在于，所述环槽(8)的内径小于保温筒(6)的壁厚和石墨发热体(5)的壁厚之和。

3.根据权利要求1所述的用于定向凝固生长多晶硅的冷却机构，其特征在于，所述保温筒(6)嵌入环槽(8)的端部侧壁上开设有若干沉头孔，调节筒(11)的端部侧壁上开设有螺纹孔，通过石墨螺栓贯穿所述沉头孔、旋入螺纹孔内，实现保温筒(6)和调节筒(11)的可拆卸连接。

4.根据权利要求1所述的用于定向凝固生长多晶硅的冷却机构，其特征在于，所述调节筒(11)远离保温筒(6)的端部内壁上设有限位环板(13)。

5.根据权利要求1所述的用于定向凝固生长多晶硅的冷却机构，其特征在于，所述转动套管(9)的侧壁上沿周向环设有安装板(14)，所述从动圆盘(10)通过石墨螺栓固定在安装板(14)上。

6.根据权利要求1所述的用于定向凝固生长多晶硅的冷却机构，其特征在于，所述转动套管(9)远离冷却盘(2)的轴向端设有同轴心线的从动轮(15)，从动轮(15)与主动轮(16)啮合连接，主动轮(16)由电机驱动转动。

7.根据权利要求1所述的用于定向凝固生长多晶硅的冷却机构，其特征在于，所述冷却盘(2)包括圆形壳体(21)，壳体(21)内设有中空的气体分布圆盘(22)，所述气体分布圆盘(22)的轴心线与壳体(21)的轴心线重合，且气体分布圆盘(22)的外径小于壳体(21)的内径，气体分布圆盘(22)的顶面与底面与对应的壳体(21)的顶面和底面之间的间隙均大于零；气体分布圆盘(22)的地面设有进气管(23)，气体分布圆盘(22)的顶部设有若干通气孔(24)；壳体(21)的底面设有出气管(25)。

8.根据权利要求7所述的用于定向凝固生长多晶硅的冷却机构，其特征在于，所述进气管(23)的另一端贯穿壳体(21)、且进转动套管(9)伸出至外部环境，出气管(25)穿入转动套管(9)内、经转动套管(9)伸出至外部环境。