[实用新型]石英掩膜结构体

说明书

本实用新型涉及薄膜加工技术领域，公开了一种石英掩膜结构体。所述石英掩膜结构体包括第一石英掩膜框、第二石英掩膜框以及石英掩膜板，所述第二石英掩膜框底部设置有收容所述石英掩膜板的凹槽，所述第一石英掩膜框设置有多个基底孔，所述第二石英掩膜框对应设置有多个正对所述第一石英掩膜板的基底孔的镀膜孔，用于通过脉冲激光对收容在所述基底孔内的基底进行镀膜。本方案可批量对小面积的基底进行镀膜而生成小面积的薄膜材料，避免了现有掩膜板在薄膜生长时边缘模糊效果和重影效果，同时也避免了现有沉积薄膜材料切割成小面积薄膜材料时容易被损坏和污染的情况，提升了薄膜制造的质量、操作便捷性和工作效率。

技术领域

本实用新型涉及薄膜加工技术领域，尤其涉及一种石英掩膜结构体。

背景技术

在制造薄膜材料时，薄膜基底加热使现有钢质掩膜板变形而无法与基底紧密贴合，导致形成镀膜形状边缘模糊(镀膜材料的散射)，同时从不同角度镀膜时掩膜板与基底的距离也会导致形成的镀膜有重影效果(镀膜材料的投影)，影响镀膜制造的质量和工作效率。同时，现有薄膜材料在测试切割成小面积薄膜材料时容易被损坏和污染，导致薄膜制造的质量、操作便捷性和工作效率不佳。

实用新型内容

鉴于此，本实用新型提供一种石英掩膜结构体，解决现有掩膜板受高温影响形成镀膜形状边缘模糊、重影和薄膜切割容易被损坏污染而导致薄膜制造的质量、操作便捷性和工作效率不佳的技术问题。

根据本实用新型的实施例，提供一种石英掩膜结构体，包括第一石英掩膜框、第二石英掩膜框以及设置在所述第一石英掩膜框和第二第一石英掩膜框之间的石英掩膜板，所述第二石英掩膜框底部设置有收容所述石英掩膜板的凹槽，所述第一石英掩膜框设置有多个用于刚好收容多个小面积基底的基底孔，所述第二石英掩膜框对应设置有多个正对所述第一石英掩膜板的基底孔的镀膜孔，用于通过脉冲激光对收容在所述基底孔内的基底进行镀膜，所述石英掩膜板设置有掩膜板孔，所述镀膜孔的尺寸略小于所述石英掩膜板的尺寸。

优选的，所述镀膜孔和基底孔呈网格排列。

优选的，所述第一石英掩膜框和第二石英掩膜框的边缘还对应设置有用于所述基底孔和镀膜孔对齐的定位孔。

优选的，所述第一石英掩膜框和第二石英掩膜框的边缘还对应设置有用于紧固所述第一石英掩膜板和第二石英掩膜板的紧固件。

优选的，所述的掩膜板厚度不超过0.2mm。

优选的，所述基底对应一个或者多个掩膜板孔。

优选的，所述紧固件为螺丝、螺栓或固定夹具。

优选的，所述第一石英掩膜板的基底孔的深度等于基底的厚度。

优选的，所述镀膜孔和基底孔为圆形、矩形或方形。

优选的，所述基底孔的尺寸略大于基底。

本实用新型提供的石英掩膜结构体，包括第一石英掩膜框、设置在所述第一石英掩膜框上方的第二石英掩膜框以及设置在所述第一石英掩膜框和第二第一石英掩膜框之间的石英掩膜板，所述第一石英掩膜框设置有多个规则分布用于刚好收容多个小面积基底的基底孔，所述第二石英掩膜框对应设置有多个正对所述第一石英掩膜板的基底孔的镀膜孔，用于通过脉冲激光对收容在所述基底孔内的基底进行镀膜，所述第二石英掩膜框底部设置有收容所述石英掩膜板的凹槽，所述石英掩膜板设置有掩膜板孔，所述镀膜孔的尺寸略小于所述石英掩膜板的尺寸。通过第一石英掩膜框的多个基底孔和第二石英掩膜框的多个镀膜孔以及石英掩膜板的配合结构设计，可批量对小面积的基底进行镀膜而生成小面积的薄膜材料，避免了现有掩膜板在薄膜生长时由于高温形变而造成的薄膜形状边缘模糊问题和不同角度镀膜时由于掩膜板离基片距离造成的重影问题，同时也避免了现有沉积薄膜材料切割成小面积薄膜材料时容易被损坏和污染的情况，提升了薄膜制造的质量、操作便捷性和工作效率。

附图说明