[实用新型]回收和提纯工业尾气中电子级笑气的装置

权利要求书

1.一种回收和提纯工业尾气中电子级笑气的装置，其特征在于：所述装置包括依次设置的洗涤系统、反应系统、脱碳系统、碱洗系统、吸附系统、增压系统和精馏系统；所述洗涤系统为水洗塔；反应系统包括反应塔和与反应塔连接的气体压缩机；脱碳系统包括胺液吸收塔和再生脱碳塔，所述胺液吸收塔塔釜液体出口与再生脱碳塔液体入口通过换热器相连，再生脱碳塔塔釜液体出口与胺液吸收塔液体入口通过换热器相连；碱洗系统包括串联的碱洗塔和水洗塔；吸附系统为吸附塔；增压系统包括缓冲储罐和与其连接的压缩机；精馏系统为串联的二级精馏塔。

2.一种回收和提纯工业尾气中电子级笑气的装置，其特征在于：所述装置包括依次设置的洗涤系统、反应系统、脱碳系统、碱洗系统、吸附系统、增压系统和精馏系统；所述洗涤系统为水洗塔；反应系统包括反应塔和与反应塔连接的气体压缩机；脱碳系统包括胺液吸收塔和再生脱碳塔，所述胺液吸收塔塔釜液体出口与再生脱碳塔液体入口通过换热器相连，再生脱碳塔塔釜液体出口与胺液吸收塔液体入口通过换热器相连；碱洗系统包括碱洗水洗塔；吸附系统为吸附塔；增压系统包括缓冲储罐和与其连接的压缩机；精馏系统为串联的二级精馏塔。

3.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于：所述洗涤系统包括至少一台水洗塔。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述碱洗塔为二段或三段。

5.根据权利要求2所述的装置，其特征在于：所述碱洗水洗塔中碱洗段为二段或三段。

6.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于：所述的吸附系统包括至少两台吸附塔。

7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于：吸附系统包括三台吸附塔。

8.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于：所述串联的两级精馏塔为串联的脱轻塔和脱重塔。