[实用新型]一种电子芯片光刻辅助装置

权利要求书

1.一种电子芯片光刻辅助装置，包括工作台（1）、光刻机（2）和光刻板（3）；其特征在于，还包括箱体（4）和定位台（5），所述箱体（4）安装在工作台（1）的顶端，并在箱体（4）的内部设置有工作腔，所述光刻机（2）安装在工作腔的内顶壁上，所述定位台（5）安装在工作腔的内底壁上，并在定位台（5）的顶端设置有圆形定位槽（6），所述圆形定位槽（6）内设置有多组夹紧装置，所述多组夹紧装置结构相同，并且多组夹紧装置等角度安装在圆形定位槽（6）的内侧壁上，多组夹紧装置均包括铰接杆（7）、支撑弹簧（8）、挡块（9）和夹紧柱（10），多组所述铰接杆（7）的一端均与圆形定位槽（6）的内侧壁连接，多组铰接杆（7）的另一端分别与多组所述夹紧柱（10）连接，多组所述支撑弹簧（8）的一端均与圆形定位槽（6）的内侧壁连接，多组支撑弹簧（8）的另一端分别与多组铰接杆（7）远离圆形定位槽（6）圆心的一端连接，多组所述挡块（9）均安装在圆形定位槽（6）的内侧壁上，并且多组挡块（9）的一端分别与多组铰接杆（7）远离支撑弹簧（8）的一侧贴紧，多组夹紧柱（10）的朝向圆形定位槽（6）的一侧中部均设置有卡槽（11），多组所述卡槽（11）位于同一水平面上，并且多组卡槽（11）的顶面均为光滑弧形过渡，多组卡槽（11）的内底壁均为平面结构，箱体（4）的前端设置有取放口；还包括左转轴（12）、右转轴、左升降板（13）、右升降板、多组左固定螺栓（14）和多组右固定螺栓，所述工作腔内顶壁的左端和右端分别设置有第一左安装槽和第一右安装槽，并在第一左安装槽和第一右安装槽内分别固定安装有第一左滚珠轴承（15）和第一右滚珠轴承（16），工作腔内底壁的左端和右端分别设置有第二左安装槽和第二右安装槽，并在第二左安装槽和第二右安装槽内分别固定安装有第二左滚珠轴承（17）和第二右滚珠轴承（18），所述左升降板（13）的中部和右升降板的中部分别设置有上下贯通的左螺纹孔和右螺纹孔，所述左转轴（12）和右转轴的侧壁上分别设置有第一外螺纹结构（19）和第二外螺纹结构（20），所述第一外螺纹结构（19）和第二外螺纹结构（20）分别与左螺纹孔和右螺纹孔的内螺纹结构相匹配，所述左转轴（12）的顶端自左升降板（13）的底端螺装穿过左螺纹孔并插入至第一左滚珠轴承（15）内部，左转轴（12）的底端插入至第二左滚珠轴承（17）内部，所述右转轴的顶端自右升降板的底端螺装穿过右螺纹孔并插入至第一右滚珠轴承（16）内部，右转轴的底端插入至第二右滚珠轴承（18）内部，所述左升降板（13）的右端和右升降板的左端分别设置有左条形槽和右条形槽，所述光刻板（3）的左端和右端分别位于左条形槽和右条形槽内，左升降板（13）和右升降板的顶端分别设置有多组左固定螺孔和多组右固定螺纹孔，所述多组左固定螺孔的底端均与左条形槽相通，所述多组右固定螺孔的底端均与右条形槽相通，所述多组左固定螺栓（14）的螺杆一端自左升降板（13）的顶端分别螺装穿过多组左固定螺孔伸入至左条形槽内并与光刻板（3）的顶端左侧贴紧，所述多组右固定螺栓的螺杆一端自右升降板的顶端分别螺装穿过多组右固定螺孔伸入至右条形槽内并与光刻板（3）的顶端右侧贴紧。

2.如权利要求1所述的一种电子芯片光刻辅助装置，其特征在于，还包括两组集气罩（21）、两组安装支架（22）、两组连通风管（23）、负压风机（24）和吸收箱（25），所述两组集气罩（21）分别通过两组所述安装支架（22）安装在左升降板（13）和右升降板的底端，所述吸收箱（25）位于工作台（1）的下方，并在吸收箱（25）的内部设置有放置腔，放置腔的内部装有吸收液，吸收箱（25）的顶端设置有排气管（26），所述负压风机（24）安装在工作台（1）的底端，负压风机（24）的底部输出端自吸收箱（25）的顶端伸入至放置腔内并至放置腔的底部，所述两组连通风管（23）的顶端分别与两组集气罩（21）连通，两组连通风管（23）的底端均与负压风机（24）的输入端连通。

3.如权利要求2所述的一种电子芯片光刻辅助装置，其特征在于，所述工作腔的左侧壁和右侧壁上分别设置有左滑槽和右滑槽（27），所述左升降板（13）的左端和右升降板的右端分别设置有左滑块和右滑块（28），所述左滑块和右滑块（28）分别位于左滑槽和右滑槽（27）内，并且左滑块和右滑块（28）可分别沿左滑槽和右滑槽（27）上下滑动。