[实用新型]用于刻蚀机防短路保护罩有效
| 申请号： | 201821918801.6 | 申请日： | 2018-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN208889603U | 公开（公告）日： | 2019-05-21 |
| 发明（设计）人： | 胡铁;吕正 | 申请（专利权）人： | 重庆斯太宝科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 重庆强大凯创专利代理事务所(普通合伙) 50217 | 代理人： | 黄书凯 |
| 地址： | 400707 重庆*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 离子束发射 中和灯丝 耳板 盖体 本实用新型 螺栓 短路保护 安装孔 刻蚀 通孔 电气保护装置 出口 盖体固定 盖体中心 金属离子 通孔孔径 中心重合 周向固定 短路 刻蚀机 附着 内壁 堆积 | ||
1.用于刻蚀机防短路保护罩，其特征在于：包括盖体，所述盖体设置在离子束发射出口外，所述盖体中心设有第一通孔，所述第一通孔孔径大小与离子束发射出口相同且第一通孔与离子束发射出口的中心重合，所述盖体外侧周向固定设置有耳板，所述耳板上设有安装孔，所述安装孔上设有螺栓，所述刻蚀机内壁上设有螺纹孔，所述螺栓穿过耳板上的安装孔并与刻蚀机内壁上的螺纹孔螺纹连接，所述耳板通过螺栓将盖体固定连接在刻蚀机内壁上。
2.根据权利要求1所述的用于刻蚀机防短路保护罩，其特征在于：所述耳板上一侧设有第一通槽，所述第一通槽与安装孔相通，所述第一通槽槽口方向垂直于安装孔与第一通孔两者的中心连线。
3.根据权利要求1所述的用于刻蚀机防短路保护罩，其特征在于：所述耳板上一侧设有第二通槽，所述第二通槽贯穿安装孔，所述安装孔与第一通孔两者的中心连线与第二通槽槽口方向平行。
4.根据权利要求1-3中任一项所述的用于刻蚀机防短路保护罩，其特征在于：所述盖体上设有盖板，所述盖板中心设置有第二通孔，所述第二通孔开设孔径可根据离子束发射出口实际半径调整，所述盖板上设置有固定孔，所述盖体上设置有圆柱形凸起，所述盖板可通过固定孔与圆柱形凸起的配合固定连接在盖体上。
5.根据权利要求1所述的用于刻蚀机防短路保护罩，其特征在于：所述耳板为三个。
6.根据权利要求1所述的用于刻蚀机防短路保护罩，其特征在于：所述螺栓与耳板的连接处设有绝缘垫圈。
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