[实用新型]物镜的清洗装置和显微镜

说明书

一种物镜的清洗装置和显微镜，其中所述物镜的清洗装置包括内腔体和位于内腔体外侧的外腔体，所述内腔体具有腔体壁，内腔体的腔体壁围绕的空间构成密闭的内腔室，所述内腔室中用于容纳待清洗的物镜，所述外腔体具有腔体壁，所述外腔体的腔体壁与内腔体的腔体壁接触构成密闭的外腔室；所述内腔体的腔体壁上设置有气体供入口，用于向内腔室中供入清洗气体；所述内腔体的腔体壁上还设置有单向阀门，单向阀门打开时将内腔室和外腔室连通，当清洗气体通过气体供入口供入内腔室内对物镜进行清洗时，清洁气体将物镜上的颗粒或污染物通过打开的单向阀门带到外腔室。本实用新型的清洗装置防止生产过程中隐患的产生，提高了清洗的效率。

技术领域

本实用新型涉及显微镜领域，尤其涉及一种物镜的清洗装置和具有该物镜清洗装置的显微镜。

背景技术

光学显微镜(英文Optical Microscope，简写OM)是利用光学原理，把人眼所不能分辨的微小物体放大成像，以供人们提取微细结构信息的光学仪器。光学显微镜已被广泛的应用在半导体领域，用于检测晶圆上是否存在缺陷。

现有的光学显微镜的光学系统主要包括目镜、物镜等部件，其中，物镜是决定显微镜性能的最重要部件，安装在物镜转换器上，接近被观察的物体，故叫做物镜或接物镜。

在光学显微镜的使用过程中，随着使用时间的增长，物镜上容易粘附颗粒或污染物，对检测过程会产生影响，因而需要定期对物镜进行清洁，但是现有的清洗方式容易对生产过程带来隐患。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是怎样防止现有的清洗方式对生产过程带来的隐患。

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种物镜的清洗装置，包括：内腔体和位于内腔体外侧的外腔体，所述内腔体具有腔体壁，内腔体的腔体壁围绕的空间构成密闭的内腔室，所述内腔室中用于容纳待清洗的物镜，所述外腔体具有腔体壁，所述外腔体的腔体壁与内腔体的腔体壁接触构成密闭的外腔室；

所述内腔体的腔体壁上设置有气体供入口，用于向内腔室中供入清洗气体；

所述内腔体的腔体壁上还设置有单向阀门，单向阀门打开时将内腔室和外腔室连通，当清洗气体通过气体供入口供入内腔室内对物镜进行清洗时，清洁气体将物镜上的颗粒或污染物通过打开的单向阀门带到外腔室。

可选的，所述内腔体的腔体壁包括内腔体顶部壁、内腔体底部壁和位于内腔体顶部壁和内腔体底部壁之间的内腔体侧壁，内腔体顶部壁、内腔体底部壁和内腔体侧壁围绕的空间构成密闭的内腔室，所述内腔体顶部壁上设置有腔体门，所述腔体门在物镜深入内腔室时打开，并在物镜深入内腔室后关闭；所述的物镜的清洗装置还包括，与内腔体和外腔体连接的升降装置，所述升降装置用于控制内腔体和外腔体上升或下降。

可选的，所述外腔体的腔体壁包括外腔体顶部壁、外腔体底部壁、外腔体外侧壁、外腔体内侧壁，所述外腔体顶部壁上具有开口，外腔体内侧壁的高度小于外腔体外侧壁的高度，所述外腔体外侧壁位于外腔体顶部壁和外腔体底部壁之间，外腔体底部壁与内腔体底部壁接触，所述外腔体内侧壁的顶部表面与外腔体顶部壁的下表面接触，并且外腔体内侧壁的底部表面与内腔体顶部壁接触，使得所述外腔体内侧壁环绕所述外腔体顶部壁上的开口和内腔体顶部壁上的腔体门。

可选的，所述气体供入口位于内腔体底部壁上，所述单向阀门设置于所述内腔体顶部壁上，在进行清洗时，内腔体底部壁上的气体供入口供入清洁气体时，清洗气体由下向上流动，带走沾在物镜上的颗粒或污染物，并从内腔体顶部壁上的打开单向阀门流动到外腔室中。

可选的，所述气体供入口位于内腔体底部壁上，所述单向阀门设置于所述内腔体的内腔体侧壁上，且单向阀门的设置位置高于深入内腔室中的物镜。

可选的，在进行清洗时，内腔体底部壁上的气体供入口供入清洁气体时，清洗气体由下向上流动，带走沾在物镜上的颗粒或污染物，并从内腔体侧壁上的打开单向阀门流动到外腔室中。