[实用新型]一种硅片生产用外径滚磨机构

说明书

本实用新型涉及一种硅片生产用外径滚磨机构，包括底板、转动机构和固定机构，所述底板的上端面上安装有转动机构，转动机构的内部安装有固定机构，转动机构包括前侧板，底板上端面的前端安装有前侧板，前侧板的中部设有圆孔，圆孔内通过轴承安装有进料筒，进料筒外侧壁的中部安装有转动支链，进料筒的后端面沿其周向方向均匀设有固定孔。本实用新型可以解决现有滚磨技术中可能存在的晶棒产生波纹状研磨痕迹、晶棒滚磨不能达到晶棒需要的直径、晶棒滚磨步骤繁琐、研磨机械不能根据需要调整，安装及拆卸困难和生产效率低等问题，可以实现晶棒的快速高质量滚磨，具有步骤简单、晶棒滚磨质量高、研磨机械安装拆卸方便和生产效率高的优点。

技术领域

本发明涉及硅片加工领域，特别涉及一种硅片生产用外径滚磨机构。

背景技术

科学技术不断的进步，促进了硅片的应用领域也越来越广泛，同时硅片的需求量也在不断的增加，硅片的加工一般需要经过粘棒、开方、去胶、滚磨、切片、清洗烘干、检测、包装等步骤，其中的滚磨是对晶棒的侧壁进行打磨，是为了去除晶棒侧壁多余料的同时使得晶棒能够达到需要的直径，在现有的技术中对晶棒滚磨采用的是：用金刚石颗粒磨轮在晶棒的侧边进行转动打磨同时晶棒也同步转动，这就需要金刚石磨轮或者晶棒中的一个进行移动才能对晶棒的全部侧壁进行打磨，而在移动时可能会产生抖动，这就会造成晶棒研磨程度不均匀，可能产生波纹状研磨痕迹，同时对晶棒滚磨也不能直接将晶棒研磨到需要的直径，这些问题都需要另外的步骤对晶棒进行再次处理，从而导致晶棒滚磨步骤繁琐，一定程度上降低了晶棒的生产效率。

发明内容

为了解决上述问题，本发明提供了一种硅片生产用外径滚磨机构，可以解决现有滚磨技术中可能存在的晶棒产生波纹状研磨痕迹、晶棒滚磨不能达到晶棒需要的直径、晶棒滚磨步骤繁琐、研磨机械不能根据需要调整，安装及拆卸困难和生产效率低等问题，可以实现晶棒的快速高质量滚磨，具有步骤简单、晶棒滚磨质量高、研磨机械安装拆卸方便和生产效率高的优点。

为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案，一种硅片生产用外径滚磨机构，包括底板、转动机构和固定机构，所述底板的上端面上安装有转动机构，转动机构的内部安装有固定机构。

所述的转动机构包括前侧板，底板上端面的前端安装有前侧板，前侧板的中部设有圆孔，圆孔内通过轴承安装有进料筒，进料筒外侧壁的中部安装有转动支链，进料筒的后端面沿其周向方向均匀设有固定孔，固定孔为T字形，固定孔的内部连接有固定机构，固定机构的后端安装有连接筒，连接筒与进料筒的后端面均设有固定孔，进料筒与连接筒内部的直径从前往后依次减小，且前一连接筒内部后端面的直径等于后一连接筒内部前端面的直径，进料筒与连接筒的内侧壁上均匀设有金刚石颗粒，底板上端面的左右侧边左右对称设有滑槽，滑槽内通过滑动配合的方式连接有电动滑块，电动滑块的上端面安装有后侧板，后侧板的中部设有通孔，通孔内安装有轴承，轴承的内径与连接筒的外径相等，转动支链包括转动齿，进料筒侧壁的中部沿其周向方向均匀设有转动齿，转动齿的左端啮合有主动齿轮，主动齿轮的前端面与转动轴的后端面相连接，转动轴侧壁的中部通过轴承安装有支撑架，支撑架的下端安装在底板的上端面，转动轴的前端面通过联轴器与转动电机的输出轴相连接，转动电机通过电机架安装在底板的上端面，工作时，根据晶棒需要的直径更换连接筒，电动滑块带动后侧板前后运动，将轴承套接到连接筒侧壁的后端，转动电机通过转动轴带动主动齿轮转动，可以带动进料筒转动，同时可以带动连接筒转动，晶棒从进料筒进入到连接筒内部，连接筒内侧壁上的金刚石可以对晶棒外径进行滚磨，从而对晶棒外径滚磨一次完成，避免了研磨轮移动产生的波纹状研磨痕迹，同时，能够根据晶棒直径的需要自由转换连接筒，外径研磨的同时直接将晶棒研磨到需要的直径，简化了工作步骤，一定程度上提高了工作效率。