[实用新型]一种可消除气泡的电镀槽

说明书

本实用新型公开了一种可消除气泡的电镀槽，包括内槽和外槽，所述外槽底部内壁下方左右对称设有两驱动电机，驱动电机的输出端伸向外槽内腔且固定连接有丝杆，所述外槽内壁两侧焊接有滑轨，滑轨上设有滑块，所述滑块上焊接有过滤网，所述过滤网上开设有配合丝杆的螺纹孔，所述丝杆背离外槽底部内壁方向上还固定有限位板，所述外槽内壁上还设有多个防止镀液冲击的挡板，所述挡板由相同材质的塑料板组成且相邻挡板成一定角度抵触连接。本实用新型能够有效的减少了镀液气泡的产生，提高电镀质量，提高生产效率。

技术领域

本实用新型涉及晶粒挑拣机设备领域，具体是一种可消除气泡的电镀槽。

背景技术

电镀就是利用电解原理采用电镀机构在某些金属表面上镀上一薄层其它金属或合金的过程，是利用电解作用使金属或其它材料制件的表面附着一层金属膜的工艺从而起到防止腐蚀，提高耐磨性、导电性、反光性及增进美观等作用。

槽式电镀机在镀液自内槽溢流至外槽时，因内外槽高低差，镀液冲击时会产生大量气泡，气泡过多会产生循环泵作业异常，流量计计量错误，气泡累积到晶圆表面使得金属镀层不能均匀覆盖工件表面，形成砂眼。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种可消除气泡的电镀槽，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种可消除气泡的电镀槽，包括内槽和外槽，所述外槽底部内壁下方左右对称设有两驱动电机，驱动电机的输出端伸向外槽内腔且固定连接有丝杆，所述外槽内壁两侧焊接有滑轨，滑轨上设有滑块，所述滑块上焊接有过滤网，所述过滤网上开设有配合丝杆的螺纹孔，所述丝杆背离外槽底部内壁方向上还固定有限位板，所述外槽内壁上还设有多个防止镀液冲击的挡板，所述挡板由相同材质的塑料板组成且相邻挡板成一定角度抵触连接。

作为本实用新型进一步的方案：所述挡板数量为三个且相邻挡板首尾呈∠ 90°抵触连接。

作为本实用新型再进一步的方案：所述驱动电机间还设有减速机，驱动电机的一端通过联轴器与减速机的输出轴固定连接。

作为本实用新型再进一步的方案：所述挡板两端的水平宽度小于外槽宽度且大于外槽宽度的一半。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：通过挡板，降低镀液从内槽溢流到外槽的冲击高度，减少了镀液气泡的产生；通过驱动电机的正反转带动滑块的上下运动，从而带动过滤网的运动，使得电镀过程中镀液内的气泡得以消除，提高电镀质量；通过减速机的设置，有效的防止过滤网上下移动过快使镀液温度升高影响电镀质量。

附图说明

图1为可消除气泡的电镀槽的结构示意图。

图2为图1中A的放大结构示意图。

图中：1、内槽；2、外槽；3、驱动电机；4、丝杆；5、滑轨；6、滑块；7、过滤网；8、限位板；9、挡板；10、减速机。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。