[实用新型]一种光刻制程中的新型光阻去边喷嘴结构

权利要求书

1.一种光刻制程中的新型光阻去边喷嘴结构，包括U型支架(3)、空气喷嘴(5)、节流阀(8)、便拆部(9)、溶剂运输管(12)、清洁干燥空气制造器(14)、电动阀(17)和风机盒(20)，其特征在于，所述U型支架竖直部分右侧固定安装有两个运输泵(2)，运输泵(2)沿前后方向设置，U型支架(3)上方部分贯穿开设有第一通孔，第一通孔内固定安装有溶剂运输管(12)一端，溶剂运输管(12)的另一端固定安装在一个运输泵(2)的输出端，U型支架(3)的上方部分底部设置有便拆部(9)，便拆部(9)包括溶剂喷嘴安装槽(23)，U型支架(3)的上方部分底部开设有溶剂喷嘴安装槽(23)，溶剂喷嘴安装槽(23)顶部和溶剂运输管(12)的输出端连通，溶剂喷嘴安装槽内螺纹安装有溶剂喷嘴安装座(22)，溶剂喷嘴安装座(22)内贯穿开设有通孔，溶剂喷嘴安装座(22)底部固定安装有溶剂喷嘴(11)，溶剂喷嘴(11)和溶剂喷嘴安装座(22)内部通孔连通，U型支架(3)的上方部分顶部开设有安装槽(15)，安装槽(15)内设置有清洁干燥空气制造器(14)，清洁干燥空气制造器(14)包括风机盒(20)，所述风机盒固定安装在安装槽(15)内侧底部，风机盒(20)内侧顶部固定安装有风机(19)，风机盒(20)的出风口处设置有出风管(18)，风机(19)的出风处正对出风管(18)，U型支架(3)上方部分贯穿开设有第二通孔，第二通孔和安装槽(15)内部连通，出风管(18)的固定安装在第二通孔内，位于U型支架上方部分的底部开设有空气喷嘴安装槽，第二通孔和空气喷嘴安装槽内部连通，空气喷嘴安装槽内螺纹安装有喷管螺纹底座(7)，喷管螺纹底座(7)内纵向贯穿开设有孔洞，喷管螺纹底座(7)底部固定安装有空气喷管(6)的一端，空气喷管(6)的另一端螺纹安装有空气喷嘴(5)，空气喷嘴内贯穿开设有空气喷孔(16)，空气喷孔(16)的底部设有电动阀(17)，所述U型支架(3)的下方部分所安装结构以及结构的连接关系和U型支架(3)上方部分完全相同，U型支架(3)内侧中央设置有溶剂喷嘴(11)。

2.根据权利要求1所述的光刻制程中的新型光阻去边喷嘴结构，其特征在于，所述溶剂喷嘴安装座(22)顶部和溶剂喷嘴安装槽(23)顶部连接处设置有防漏垫片(24)。

3.根据权利要求1所述的光刻制程中的新型光阻去边喷嘴结构，其特征在于，所述风机盒(20)左右两侧贯穿开设有孔洞，孔洞内固定安装有空气干燥清洁网(21)。

4.根据权利要求1所述的光刻制程中的新型光阻去边喷嘴结构，其特征在于，所述U 型支架(3)竖直部分左侧转动安装有摄像头(4)，U型支架(3)竖直部分右侧固定安装有显示器(1)。

5.根据权利要求1所述的光刻制程中的新型光阻去边喷嘴结构，其特征在于，所述溶剂运输管(12)底部固定安装有支架(13)的一端，支架(13)的另一端固定安装在U型支架(3)上。