[实用新型]载具传输系统有效

专利信息
申请号: 201821922485.X 申请日: 2018-11-21
公开(公告)号: CN209087799U 公开(公告)日: 2019-07-09
发明(设计)人: 胡庆为 申请(专利权)人: 东泰高科装备科技有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677
代理公司: 北京维澳专利代理有限公司 11252 代理人: 石晓峰;贾博雍
地址: 102209 北京市昌平*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 夹持机构 输送带 载具传输系统 传输装置 夹持 本实用新型 环形输送带 调度方式 环形设置 流转 载具 占用
【权利要求书】:

1.一种载具传输系统,其特征在于,包括:传输装置(1)和多个夹持机构(2),其中,所述传输装置(1)具有呈环形设置的输送带(3);所述夹持机构(2)分别设置在所述输送带(3)上,所述夹持机构(2)用于夹持载具。

2.根据权利要求1所述的载具传输系统,其特征在于,还包括:

至少一个装卸载装置(5),所述装卸载装置(5)与所述传输装置(1)相邻设置,所述装卸载装置(5)用于从所述夹持机构(2)装载所述载具,或将所述载具卸载至所述夹持机构(2)。

3.根据权利要求2所述的载具传输系统,其特征在于,

所述装卸载装置(5)具有机械手和驱动器,所述驱动器被设置为用于驱动所述机械手打开或闭合,以实现从所述夹持机构(2)装载所述载具,或将所述载具卸载至所述夹持机构(2)。

4.根据权利要求2所述的载具传输系统,其特征在于,

所述装卸载装置(5)还具有取片器,所述取片器用于从所述载具中抽取载片,或者向所述载具中插入载片。

5.根据权利要求1所述的载具传输系统,其特征在于,还包括:

至少一个输运装置(4),所述输运装置(4)与所述传输装置(1)相邻设置,所述输运装置(4)用于将所述载具输送至所述夹持机构(2)或接受所述夹持机构(2)输送来的所述载具。

6.根据权利要求5所述的载具传输系统,其特征在于,还包括:

卡接器(6),设置在所述输运装置(4)上,用于固定所述载具。

7.根据权利要求5所述的载具传输系统,其特征在于,

所述输运装置(4)至少具有两条,分别为第一输运装置和第二输运装置,所述第一输运装置用于向所述夹持机构(2)提供载具,所述第二输运装置用于从所述夹持机构(2)上回收载具。

8.根据权利要求1所述的载具传输系统,其特征在于,

所述夹持机构(2)包括夹爪和夹爪气缸,所述夹爪气缸被设置为用于驱动所述夹爪打开或夹紧,以夹持或释放所述载具。

9.根据权利要求1所述的载具传输系统,其特征在于,

所述夹持机构(2)还包括升降器,所述升降器用于调节所述夹持机构(2)与所述输送带(3)在竖直方向上的距离。

10.根据权利要求1所述的载具传输系统,其特征在于,

所述夹持机构(2)还包括平移器,所述平移器用于调节所述夹持机构(2)与所述输送带(3)在水平方向上的距离。

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