[实用新型]载具传输系统有效
申请号: | 201821922485.X | 申请日: | 2018-11-21 |
公开(公告)号: | CN209087799U | 公开(公告)日: | 2019-07-09 |
发明(设计)人: | 胡庆为 | 申请(专利权)人: | 东泰高科装备科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 北京维澳专利代理有限公司 11252 | 代理人: | 石晓峰;贾博雍 |
地址: | 102209 北京市昌平*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 夹持机构 输送带 载具传输系统 传输装置 夹持 本实用新型 环形输送带 调度方式 环形设置 流转 载具 占用 | ||
1.一种载具传输系统,其特征在于,包括:传输装置(1)和多个夹持机构(2),其中,所述传输装置(1)具有呈环形设置的输送带(3);所述夹持机构(2)分别设置在所述输送带(3)上,所述夹持机构(2)用于夹持载具。
2.根据权利要求1所述的载具传输系统,其特征在于,还包括:
至少一个装卸载装置(5),所述装卸载装置(5)与所述传输装置(1)相邻设置,所述装卸载装置(5)用于从所述夹持机构(2)装载所述载具,或将所述载具卸载至所述夹持机构(2)。
3.根据权利要求2所述的载具传输系统,其特征在于,
所述装卸载装置(5)具有机械手和驱动器,所述驱动器被设置为用于驱动所述机械手打开或闭合,以实现从所述夹持机构(2)装载所述载具,或将所述载具卸载至所述夹持机构(2)。
4.根据权利要求2所述的载具传输系统,其特征在于,
所述装卸载装置(5)还具有取片器,所述取片器用于从所述载具中抽取载片,或者向所述载具中插入载片。
5.根据权利要求1所述的载具传输系统,其特征在于,还包括:
至少一个输运装置(4),所述输运装置(4)与所述传输装置(1)相邻设置,所述输运装置(4)用于将所述载具输送至所述夹持机构(2)或接受所述夹持机构(2)输送来的所述载具。
6.根据权利要求5所述的载具传输系统,其特征在于,还包括:
卡接器(6),设置在所述输运装置(4)上,用于固定所述载具。
7.根据权利要求5所述的载具传输系统,其特征在于,
所述输运装置(4)至少具有两条,分别为第一输运装置和第二输运装置,所述第一输运装置用于向所述夹持机构(2)提供载具,所述第二输运装置用于从所述夹持机构(2)上回收载具。
8.根据权利要求1所述的载具传输系统,其特征在于,
所述夹持机构(2)包括夹爪和夹爪气缸,所述夹爪气缸被设置为用于驱动所述夹爪打开或夹紧,以夹持或释放所述载具。
9.根据权利要求1所述的载具传输系统,其特征在于,
所述夹持机构(2)还包括升降器,所述升降器用于调节所述夹持机构(2)与所述输送带(3)在竖直方向上的距离。
10.根据权利要求1所述的载具传输系统,其特征在于,
所述夹持机构(2)还包括平移器,所述平移器用于调节所述夹持机构(2)与所述输送带(3)在水平方向上的距离。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造