[实用新型]晶硅铸锭加热器

权利要求书

1.一种晶硅铸锭加热器，其特征在于，包括

顶部加热器；

侧部加热器，包括侧部上加热器及侧部下加热器，其中所述侧部上加热器和顶部加热器串联形成串联单元，所述串联单元和侧部下加热器分别独立连接电源。

2.根据权利要求1所述的晶硅铸锭加热器，其特征在于，所述串联单元连接至三相交流电源,所述侧部下加热器连接至不同的三相交流电源。

3.根据权利要求1所述的晶硅铸锭加热器，其特征在于，所述顶部加热器包括处于同一平面的并排设置的2个蛇型加热器，每个蛇形加热器的两侧分别设置有2个S型加热器，所述侧部上加热器沿圆周方向均布有4处，每个侧部上加热器包括2个并排设置的U型加热器，所述顶部加热器和所述4处的侧部上加热器形成两个串联子单元，其中每个串联子单元由1个蛇形加热器及其两侧的2个S型加热器将4个依次排列的U型加热器串联形成，所述串联子单元中的2个S型加热器上分别连接有石墨电极。

4.根据权利要求3所述的晶硅铸锭加热器，其特征在于，所述串联子单元中，沿所述圆周方向，相邻的所述U型加热器通过S型加热器或蛇型加热器依次串联，其中所述蛇型加热器的两端分别通过一个转接板连接至U型加热器，S型加热器的两端分别通过一个转接板连接至U型加热器。

5.根据权利要求4所述的晶硅铸锭加热器，其特征在于，所述S型加热器所连接的转接板的宽度与S型加热器的宽度差小于10毫米。

6.根据权利要求1所述的晶硅铸锭加热器，其特征在于，所述侧部上加热器的内表面和所述侧部下加热器的内表面处于同一平面上。

7.根据权利要求1所述的晶硅铸锭加热器，其特征在于，所述侧部上加热器与所述侧部下加热器之间的距离为10毫米～60毫米。

8.根据权利要求1所述的晶硅铸锭加热器，其特征在于，所述侧部下加热器的电阻不大于侧部上加热器和顶部加热器串联的电阻之和；所述侧部上加热器的电阻小于侧部上加热器和顶部加热器串联的电阻之和的1/2。