[实用新型]一种真空镀膜机

说明书

本实用新型公开了一种真空镀膜机，包括箱体、真空抽气泵、电机、转轴、轴承、固定盘、加热器、弧形蒸发槽、蒸发孔、脚架，所述箱体置于水平面上，所述真空抽气泵设于所述箱体上方中心位置，所述电机设于所述箱体外左右两侧，所述转轴横穿所述箱体与所述电机紧密连接，所述轴承中心位置紧密连接所述转轴另一端，若干所述固定盘等距离分散固定在所述轴承上，所述加热器设于所述箱体内部两侧，所述弧形蒸发槽设于所述加热器之间，且上方设有若干所述蒸发孔，所述脚架设于所述箱体底部两侧。该实用新型通过蒸发孔来提高箱体内的温度，在真空条件下，箱体内温度受热均匀，再加上固定工件在箱体内绕动，保证镀膜均匀，提高镀膜效果，操作方便，适用性强，有效提高了工作效率。

技术领域

本实用新型涉及镀膜机领域，具体为一种空真镀膜机。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种，但现有的真空镀膜机，不方便使用，其设备通用性不强，尤其当零件同时双面镀膜或镀多层膜时，加工效率低，能源消耗大，镀膜不均匀等。

发明内容

为了克服现有技术方案的不足，本实用新型提供一种真空镀膜机，能有效的解决背景技术提出的问题。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种真空镀膜机，包括箱体、真空抽气泵、电机、转轴、轴承、固定盘、加热器、弧形蒸发槽、蒸发孔、脚架，所述箱体置于水平面上，所述真空抽气泵设于所述箱体上方中心位置，所述电机设于所述箱体外左右两侧，所述转轴横穿所述箱体与所述电机紧密连接，所述轴承中心位置紧密连接所述转轴另一端，若干所述固定盘等距离分散固定在所述轴承上，所述加热器设于所述箱体内部两侧，所述弧形蒸发槽设于所述加热器之间，且上方设有若干所述蒸发孔，所述脚架设于所述箱体底部两侧。

进一步地，所述转轴与所述电机内部旋转装置固定连接。

进一步地，所述转轴与所述轴承通过螺丝紧密固定连接。

进一步地，所述固定盘与所述轴承之间为转动连接，所述固定盘由于重心向下，然而不因所述轴承转动而转动。

进一步地，所述固定盘上盛放需要镀膜的工件和电镀液。

进一步地，所述加热器内部出气口与所述弧形蒸发槽内部连通。

进一步地，所述蒸发孔与所述弧形蒸发槽内部连通。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

（1）本实用新型通过电机内部驱动带动转轴和轴承运转，让固定盘上的工件能够保证镀膜均匀，提高镀膜效果。

（2）本实用新型通过蒸发孔来提高箱体内的温度，在真空条件下，箱体内温度受热均匀，再加上固定工件在箱体内绕动，操作方便，适用性强，有效提高了工作效率。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图。

图中标号：

1-箱体；2-真空抽气泵；3-电机；4-转轴；5-轴承；6-固定盘；7-加热器；8-弧形蒸发槽；9-蒸发孔；10-脚架。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。