[实用新型]一种用于高效碳化硅加工的收集装置有效
申请号: | 201821927560.1 | 申请日: | 2018-11-22 |
公开(公告)号: | CN211309536U | 公开(公告)日: | 2020-08-21 |
发明(设计)人: | 徐涛;徐岳 | 申请(专利权)人: | 天津市卓辉电子有限公司 |
主分类号: | B65D81/26 | 分类号: | B65D81/26;B65D53/02;B65D6/24 |
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地址: | 300000 天津市*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 高效 碳化硅 加工 收集 装置 | ||
1.一种用于高效碳化硅加工的收集装置,包括壳体(7)和设置在壳体(7)底端的存放盒(10),其特征在于,所述壳体(7)的内部固定设置有过滤板(25),且壳体(7)的内部靠近过滤板(25)的一侧位置处安装有固定隔板(3),所述固定隔板(3)与过滤板(25)之间位置处设置有隔离室(5),所述隔离室(5)的一侧位置处设置有收集室(6),所述隔离室(5)的另一侧位置处设置有清洗室(19),所述壳体(7)的顶部一侧贯穿设置有进气管(8),所述过滤板(25)的底端靠近存放盒(10)的正上方位置处倾斜固定设置有导料槽(9),所述存放盒(10)的内部位置处固定设置有干燥层(24),所述固定隔板(3)的顶部嵌入安装有风机(4),所述风机(4)的出风口固定连接有排气管(18),所述壳体(7)的底端表面位置处连接有四个支撑腿(12),所述壳体(7)的顶部另一侧贯穿设置有进液管(20),所述清洗室(19)的上端表面位置处开设有出气口(2),所述出气口(2)固定连接有出气管(1),所述出气管(1)的内部位置处固定设置有气体过滤层(21)。
2.根据权利要求1所述的一种用于高效碳化硅加工的收集装置,其特征在于,所述存放盒(10)的两侧表面位置处固定连接有第一连接块(13),所述壳体(7)的底端位置靠近支撑腿(12)的内侧位置处对称设置有两个第一连接块(13),所述第一连接块(13)和第二连接块(14)的表面位置处均螺纹连接有两个螺栓(11)。
3.根据权利要求1所述的一种用于高效碳化硅加工的收集装置,其特征在于,所述出气口(2)的内壁位置处开设有螺纹槽,所述出气管(1)的底端表面位置处固定设置有螺纹(23),所述出气管(1)与出气口(2)之间为螺纹连接,所述出气管(1)的表面螺纹(23)的正上方位置处固定设置有密封圈(22)。
4.根据权利要求1所述的一种用于高效碳化硅加工的收集装置,其特征在于,所述气体过滤层(21)是一种活性炭过滤层构件。
5.根据权利要求1所述的一种用于高效碳化硅加工的收集装置,其特征在于,所述清洗室(19)的底端位置处固定连接有排液管(15),所述排液管(15)的侧面位置处固定设置有单向开关阀(16),所述清洗室(19)的内部位置处填充有清洗液(17)。
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