[实用新型]一种太阳能电池外延结构有效

专利信息
申请号: 201821934160.3 申请日: 2018-11-22
公开(公告)号: CN208873729U 公开(公告)日: 2019-05-17
发明(设计)人: 罗轶;李琳琳;宋士佳 申请(专利权)人: 东泰高科装备科技有限公司
主分类号: H01L31/042 分类号: H01L31/042;H01L31/18
代理公司: 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人: 彭瑞欣;罗瑞芝
地址: 102200 北京市昌平*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 砷化铝层 剥离衬 牺牲层 太阳能电池 外延结构 电池层 湿法腐蚀 叠层 叠置 剥离 本实用新型 衬底剥离 依次设置 拉扯力 良率 掺杂 缓和
【权利要求书】:

1.一种太阳能电池外延结构,包括待剥离衬底和设置在所述待剥离衬底上的牺牲层和电池层,沿远离所述待剥离衬底的方向,所述牺牲层和所述电池层依次设置,所述牺牲层用于辅助所述待剥离衬底与所述电池层分离,其特征在于,所述牺牲层包括至少一个叠层单元,沿远离所述待剥离衬底的方向,各所述叠层单元依次叠置,所述叠层单元包括相互叠置的第一砷化铝层和第二砷化铝层,所述第一砷化铝层和所述第二砷化铝层均为n型掺杂层,且所述第一砷化铝层和所述第二砷化铝层的掺杂浓度不同。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池外延结构,其特征在于,所述第一砷化铝层的掺杂浓度范围为1×1017cm-3~1×1019cm-3;所述第二砷化铝层的掺杂浓度范围为1×1019cm-3~1×1021cm-3

3.根据权利要求1所述的太阳能电池外延结构,其特征在于,所述叠层单元的数量为1~5个。

4.根据权利要求1所述的太阳能电池外延结构,其特征在于,所述第一砷化铝层的厚度范围为1~10nm;所述第二砷化铝层的厚度范围为1~10nm。

5.根据权利要求1所述的太阳能电池外延结构,其特征在于,所述牺牲层还包括第三砷化铝层,所述第三砷化铝层位于所述叠层单元的靠近所述电池层的一侧,所述第三砷化铝层为n型掺杂层,且所述第三砷化铝层的掺杂浓度低于所述第一砷化铝层和所述第二砷化铝层中任一的掺杂浓度。

6.根据权利要求5所述的太阳能电池外延结构,其特征在于,所述第三砷化铝层的掺杂浓度范围为0~1×1017cm-3

7.根据权利要求5所述的太阳能电池外延结构,其特征在于,所述第三砷化铝层的厚度范围为1~10nm。

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