[实用新型]一种用于离子迁移谱的多级串联洁净气源有效
申请号: | 201821939312.9 | 申请日: | 2018-11-23 |
公开(公告)号: | CN209167200U | 公开(公告)日: | 2019-07-26 |
发明(设计)人: | 黄卫;李海洋;王卫国 | 申请(专利权)人: | 中国科学院大连化学物理研究所 |
主分类号: | G01N27/62 | 分类号: | G01N27/62 |
代理公司: | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人: | 马驰 |
地址: | 116023 辽宁省*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 离子迁移谱 多级串联 洁净气源 减压阀 电晕放电装置 空气压缩机 油水分离器 真空过滤器 净化器 干净气体 高压电源 工作气源 气体干燥 输出气体 外界空气 高纯度 高污染 颗粒物 吹扫 高湿 露点 吸附 分解 压缩 | ||
1.一种用于离子迁移谱的多级串联洁净气源,其特征在于:
装置包括:空气压缩机(1)、真空过滤器(2)、油水分离器(3)、气体干燥管(4)、电晕放电装置(6)、减压阀(7)、第一、第二、第三净化器(8、9、10)
空气压缩机(1)的出气口与真空过滤器(2)的进气口相连,真空过滤器的出气口经油水分离器(3)与气体干燥管(4)的进气口相连,气体干燥管(4)的外排口与外界大气相导通,气体干燥管(4)出气口与电晕放电装置(6)的进气口相连,电晕放电装置(6)的出气口经减压阀(7)依次与第一、第二、第三净化器(8、9、10)相连与离子迁移谱(11)漂气和/或载气入口相连接。
2.根据权利要求1所述的一种用于离子迁移谱的多级串联洁净气源,其特征在于:以空气为原料,空气压缩机(1)将空气压缩至0.2-0.8Mpa,进行初步脱水和去除颗粒物,然后经真空过滤器(2)再次脱去气体中的细颗粒物,两次颗粒物过滤精度可<0.01μm。
3.根据权利要求1所述的一种用于离子迁移谱的多级串联洁净气源,其特征在于:通过油水分离器(3)脱去一部分的VOCs,然后通过电晕放电装置(6)进一步除去VOCs。
4.根据权利要求3所述的一种用于离子迁移谱的多级串联洁净气源,其特征在于:电晕放电装置(6)为四氟材料制作的带盖密封腔体,其上部设有进气口、下部设有出气口,内含上下两个电极,电极材料均为纯度>99.99%的钨钢,上电极为由2个以上钨针平行设置的钨针阵列,相邻钨针与钨针的中心轴距7mm,所有的钨针上端均固定于底座上、并通过不锈钢固定底座相导通,下电极为带有2个以上圆形通孔的多孔钨钢片,厚度为2mm,圆孔的直径为3mm,相邻通孔与通孔的中心轴距7mm,下电极圆孔的数量与上电极钨针的数量相等,上电极钨针都垂直于下电极、且处于下电极对应圆孔中心的正上方3mm处,上电极钨针与其对应的圆孔同轴。
5.根据权利要求3所述的一种用于离子迁移谱的多级串联洁净气源,其特征在于:高压电源(5)为在0-5000V可调的高压电源,为电晕放电装置(6)供电,高压电源(5)的负极与电晕放电装置(6)的上电极相连,正极与下电极相连;接通电源时,电晕放电装置(6)可以发生电晕放电除去气体中的VOCs。
6.根据权利要求1所述的一种用于离子迁移谱的多级串联洁净气源,其特征在于:气体干燥管(4)为具有反吹功能Nafion渗透膜气体干燥管,对气体进行深度脱水,可将气体干燥至低于-40℃的露点。
7.根据权利要求1所述的一种用于离子迁移谱的多级串联洁净气源,其特征在于:减压阀(7)可将真空过滤器(2)和电晕放电装置(6)之间气压维持在0.2Mpa以上,以利于气体干燥管(4)的脱水和电晕放电装置(6)除去VOCs,并将其输出气压降低至0.2Mpa以下,并降低气体流速,促进后端系统的工作。
8.根据权利要求1所述的一种用于离子迁移谱的多级串联洁净气源,其特征在于:第一、第二、第三净化器(8、9、10)内分别装填的为13A分子筛、活性炭、变色硅胶,对气体中的水分和VOCs再次进行深度吸附去除。
9.根据权利要求1所述的一种用于离子迁移谱的多级串联洁净气源,其特征在于:经以上处理后的气体可直接供给离子迁移谱(11)使用3个月以上。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院大连化学物理研究所,未经中国科学院大连化学物理研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201821939312.9/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种金属材料金相电解腐蚀装置
- 下一篇:一种便携式磁粉探伤仪